VeTek semieroale erdieroaleen industriarako tantalio karburoko estaldura materialen fabrikatzaile nagusia da. Gure produktuen eskaintza nagusiak CVD tantalio karburoaren estalduraren piezak, SiC kristalen hazkuntzarako TaC estaldura sinterizaturako piezak edo erdieroaleen epitaxia prozesurako daude. ISO9001 gaindituta, VeTek Semiconductor-ek kalitatearen kontrol ona du. VeTek Semiconductor tantalio karburoaren estalduraren industrian berritzaile bihurtzeko dedikatzen da teknologia iteratiboen etengabeko ikerketa eta garapenaren bidez.
Produktu nagusiak hauek diraTantalo Karburozko estaldura eraztun eraztuna, TaC estalitako desbideratze eraztuna, TaC estalitako erdi ilargi zatiak, Tantalo Karburoa estalitako biraketa planetarioko diskoa (Aixtron G10), TaC estalitako arragoa; TaC estalitako eraztunak; TaC Estalitako Grafito Porotsua; Tantalo Karburoa Estaldura Grafito Susceptor; TaC Estalitako Gida Eraztuna; TaC tantalio karburo estalitako plaka; TaC estalitako ostia susceptor; TaC estaldura eraztuna; TaC Estaldura Grafito Estalkia; TaC estalitako zatiaetab., purutasuna 5ppm-tik beherakoa da, bezeroen eskakizunak bete ditzake.
TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez. Abantaila beheko irudian erakusten da:
Tanto karburoa (TaC) estaldurak arreta irabazi du 3880 °C arteko urtze-puntu altuagatik, erresistentzia mekaniko bikainagatik, gogortasunagatik eta kolpe termikoekiko erresistentziagatik, tenperatura-eskakizun handiagoak dituzten erdieroale konposatuen epitaxia prozesuetarako alternatiba erakargarria dela eta. hala nola, Aixtron MOCVD sistema eta LPE SiC epitaxia prozesua. Gainera, aplikazio zabala du PVT metodoa SiC kristalen hazkuntza prozesuan.
●Tenperaturaren egonkortasuna
●Garbitasun ultra handikoa
●H2, NH3, SiH4, Si erresistentzia
●Stock termikoarekiko erresistentzia
●Grafitoarekiko atxikimendu sendoa
●Estaldura konformatua
● Tamaina gehienez 750 mm-ko diametroa (Txinako fabrikatzaile bakarra tamaina horretara iristen da)
● Berokuntza suszeptore induktiboa
● Berogailu erresistentea
● Bero-ezkutua
TaC estalduraren propietate fisikoak | |
Dentsitatea | 14,3 (g/cm³) |
Emisio espezifikoa | 0.3 |
Dilatazio termikoaren koefizientea | 6.3 10-6/K |
Gogortasuna (HK) | 2000 HK |
Erresistentzia | 1×10-5Ohm*cm |
Egonkortasun termikoa | <2500℃ |
Grafitoaren tamaina aldatzen da | -10~-20um |
Estalduraren lodiera | ≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
Elementua | Ehuneko atomikoa | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Batez bestekoa | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor-en TaC Coating Rotation Plate-k TaC estaldura bikaina du, TaC estaldura paregabearekin, TaC Coating Rotation Plate-k tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimiko nabarmenak ditu, irtenbide tradizionaletatik bereizten dituena. Kalitatezko produktuak lehiakortasunean eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu. prezioak eta zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-en TaC Estaldura Plaka produktu nabarmena da, ezaugarri eta abantaila bikainak eskaintzen dituena. Zehaztasunarekin diseinatua eta perfekziora diseinatuta, gure TaC estaldura plaka silizio karburoaren (SiC) kristal bakarreko hazkuntza prozesuetan hainbat aplikaziotarako egokituta dago. TaC estaldura plakaren dimentsio zehatzak eta eraikuntza sendoak lehendik dauden sistemetan integratzea errazten du, bateragarritasunik gabea bermatuz. eta funtzionamendu eraginkorra. Bere errendimendu fidagarriak eta kalitate handiko estaldurak emaitza koherente eta uniformeak lortzen laguntzen dute SiC kristalen hazkuntzako aplikazioetan. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta zure epe luzerako bazkidea izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-ek eskaintzen duen CVD TaC estaldura-estalkia aplikazio zorrotzetarako bereziki diseinatutako osagai oso espezializatua da. Ezaugarri aurreratuekin eta aparteko errendimenduarekin, gure CVD TaC estaldura-estaldurak hainbat abantaila gako eskaintzen ditu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor Aixtron epitaxia ekipoetarako aparteko produktua da. TaC estaldura sendoak tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimiko bikainak eskaintzen ditu. Konbinazio berezi honek errendimendu fidagarria eta bizitza luzea bermatzen ditu, baita ingurune zorrotzetan ere. VeTek-ek kalitate handiko produktuak eskaintzeko eta epe luzerako bazkide gisa balio du Txinako merkatuan prezio lehiakorrekin.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-en TaC Estaldura Idulkia euskarri plaka erdieroaleen epitaxia prozesuen eskakizun espezifikoak betetzeko diseinatutako doitasun handiko produktua da. TaC estaldurarekin, tenperatura altuko erresistentziarekin eta inertetasun kimikoarekin, gure produktuak kalitate handiko EPI geruzak kalitate handiko ekoizteko ahalmena ematen dizu. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta epe luzerako zure bazkide izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-en TaC Coating Chuck-ek kalitate handiko TaC estaldura du, tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimikoagatik ezaguna, bereziki silizio karburoko (SiC) epitaxia (EPI) prozesuetan. Bere aparteko ezaugarriekin eta goi-mailako errendimenduarekin, gure TaC Coating Chuck-ek hainbat abantaila gako eskaintzen ditu. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta epe luzerako zure bazkide izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta