Txina Silizio karburo solidoa Fabrikatzailea, Hornitzailea, Fabrika

VeTek Semiconductor Silizio Solido Karburoa zeramikazko osagai garrantzitsu bat da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburo solidoa (CVD silizio-karburoa) akuaforte-ekipoko piezak barne hartzen ditufokatze eraztunak, gas dutxa-burua, erretilua, ertzeko eraztunak, etab. Silizio karburo solidoaren (CVD silizio karburoa) erreaktibotasun eta eroankortasun baxua dela eta, kloroa eta fluoroa duten grabaketa-gasen aurrean, material aproposa da plasma grabatzeko ekipoen fokatze-eraztunetarako eta beste eraztunetarako. osagaiak.

Esate baterako, foku-eraztuna obleatik kanpo eta oblearekin zuzeneko kontaktuan jartzen den zati garrantzitsu bat da, eraztunari tentsio bat aplikatuz eraztunetik igarotzen den plasma bideratzeko, eta, horrela, oblean plasma zentratuz, uniformetasuna hobetzeko. prozesatzea. Foku-eraztun tradizionala silizioz edokuartzoa, silizio eroalea foku-eraztunaren material arrunt gisa, siliziozko obleen eroankortasunetik ia gertu dago, baina eskasia fluoroa duen plasman grabatzeko erresistentzia eskasa da, sarritan erabiltzen diren makina-makinen materialak denbora tarte batean grabatzeko erresistentzia eskasa da. korrosio-fenomenoa, bere ekoizpen-eraginkortasuna larriki murrizten du.

SEtaC foku eraztun zaharraLan-printzipioa：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa:

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa
Elementua	Eta	CVD SiC
Dentsitatea (g/cm³)	2.33	3.21
Banda-hutsunea (eV)	1.12	2.3
Eroankortasun termikoa (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modulu elastikoa (GPa)	150	440
Gogortasuna (GPa)	11.4	24.5
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia	Pobrea	Bikaina

VeTek Semiconductor-ek silizio solido karburoa (CVD silizio karburoa) pieza aurreratuak eskaintzen ditu erdieroaleen ekipoetarako SiC fokatze eraztunak bezalakoak. Gure silizio karburo solidoko fokatze-eraztunek silizio tradizionala gainditzen dute, erresistentzia mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura altuko iraunkortasunari eta ioi-grabatzeko erresistentziari dagokionez.

Gure SiC fokatze-eraztunen ezaugarri nagusiak hauek dira:

Dentsitate handia grabaketa-tasa murriztuetarako.

Isolamendu bikaina banda hutsarekin.

Eroankortasun termiko handia eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.

Kolpe mekanikoen erresistentzia eta elastikotasun handia.

Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.

Erabiliz fabrikatuaPlasma-hobetutako lurrun-deposizio kimikoa (PECVD)teknikak, gure SiC fokatze-eraztunak erdieroaleen fabrikazioko grabatze-prozesuen eskakizun gero eta handiagoak betetzen dituzte. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiKapazitiboki akoplatutako plasma (CCP)sistemak.

VeTek Semiconductor-en SiC fokatze-eraztunek errendimendu eta fidagarritasun aparta eskaintzen dute erdieroaleen gailuen fabrikazioan. Aukeratu gure SiC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.

View as

Silizio Karburozko Dutxa Burua

VeTek Semiconductor Siliziozko Karburoko Dutxa Buruko produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da Txinan. SiC dutxa-buruak tenperatura altuko tolerantzia bikaina du, egonkortasun kimikoa, eroankortasun termikoa eta gas-banaketaren errendimendu ona, eta horrek gas banaketa uniformea lor dezake eta filmaren kalitatea hobetu dezake. Hori dela eta, tenperatura altuko prozesuetan erabili ohi da, hala nola lurrun-deposizio kimikoa (CVD) edo lurrun-deposizio fisikoa (PVD) prozesuetan. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

Siliziozko karburozko zigilu eraztuna

Siliziozko Karburozko Zigilu Eraztunaren produktuen fabrikatzaile eta fabrika profesionala den aldetik, VeTek Semiconductor Siliziozko Karburozko Zigilu Eraztuna oso erabilia da erdieroaleen prozesatzeko ekipoetan, beroarekiko erresistentzia bikainagatik, korrosioarekiko erresistentziagatik, indar mekanikoagatik eta eroankortasun termikoagatik. Bereziki egokia da tenperatura altuko eta gas erreaktiboak dituzten prozesuetarako, hala nola CVD, PVD eta plasma grabaketa, eta erdieroaleen fabrikazio-prozesuan funtsezko aukera den materiala da. Zure kontsulta gehiago ongi etorriak dira.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

CVD SiC Blokea SiC Crystal Growtherako

VeTek Semiconductor CVD-SiC solteko iturrien, CVD SiC estalduren eta CVD TaC estalduren ikerketan eta garapenean eta industrializazioan oinarritzen da. CVD SiC blokea SiC Crystal Growth-erako adibide gisa hartuta, produktua prozesatzeko teknologia aurreratua da, hazkunde-tasa azkarra da, tenperatura altuko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia sendoa da. Ongi etorri galdetzera.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

SiC Crystal Growth Teknologia Berria

Vetek Semiconductor-en purutasun ultra-altuko silizio-karburoa (SiC) lurrun-deposizio kimikoaren bidez (CVD) eratutako silizio-karburoaren kristalak hazteko iturri-material gisa erabil daiteke lurrun-garraio fisikoaren bidez (PVT). SiC Crystal Growth New Technology-n, iturri-materiala arrago batean kargatzen da eta hazi-kristal batean sublimatzen da. Erabili baztertutako CVD-SiC blokeak materiala birziklatzeko SiC kristalak hazteko iturri gisa. Ongi etorri gurekin lankidetza ezartzera.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

CVD SiC Dutxa Burua

VeTek Semiconductor Txinako CVD SiC dutxa-buruaren fabrikatzaile eta berritzaile liderra da. Urte asko daramatzagu SiC materialean espezializatuta. CVD SiC dutxa-burua fokatze-eraztun-material gisa aukeratzen da, egonkortasun termokimiko bikainagatik, erresistentzia mekaniko handiagatik eta erresistentziagatik. plasma higadura. Espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

SiC Dutxa Burua

VeTek Semiconductor Txinan SiC dutxa-buruaren fabrikatzaile eta berritzaile liderra da. Urte asko daramatzagu SiC materialean espezializatuta. SiC-ko dutxa-burua fokatze-eraztun-material gisa aukeratzen da, egonkortasun termokimiko bikainagatik, indar mekaniko handiagatik eta plasma higaduragatik erresistentziagatik. .Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

<1 2 >

Txinan Silizio karburo solidoa fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika dugu. Zure eskualdeko behar zehatzei erantzuteko zerbitzu pertsonalizatuak behar dituzun edo Txinan egindako Silizio karburo solidoa aurreratu eta iraunkorra erosi nahi baduzu, mezu bat utz diezagukezu.