Txina Silizio karburo solidoa Fabrikatzailea, Hornitzailea, Fabrika

VeTek Semiconductor Silizio Solido Karburoa zeramikazko osagai garrantzitsu bat da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburo solidoa (CVD silizio-karburoa) akuaforte-ekipoko piezak barne hartzen ditufokatze eraztunak, gas dutxa-burua, erretilua, ertzeko eraztunak, etab. Silizio karburo solidoaren (CVD silizio karburoa) erreaktibotasun eta eroankortasun baxua dela eta, kloroa eta fluoroa duten grabaketa-gasen aurrean, material aproposa da plasma grabatzeko ekipoen fokatze-eraztunetarako eta beste eraztunetarako. osagaiak.

Esate baterako, foku-eraztuna obleatik kanpo eta oblearekin zuzeneko kontaktuan jartzen den zati garrantzitsu bat da, eraztunari tentsio bat aplikatuz eraztunetik igarotzen den plasma bideratzeko, eta, horrela, oblean plasma zentratuz, uniformetasuna hobetzeko. prozesatzea. Foku-eraztun tradizionala silizioz edokuartzoa, silizio eroalea foku-eraztunaren material arrunt gisa, siliziozko obleen eroankortasunetik ia gertu dago, baina eskasia fluoroa duen plasman grabatzeko erresistentzia eskasa da, sarritan erabiltzen diren makina-makinen materialak denbora tarte batean grabatzeko erresistentzia eskasa da. korrosio-fenomenoa, bere ekoizpen-eraginkortasuna larriki murrizten du.

SEtaC foku eraztun zaharraLan-printzipioa：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa:

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa
Elementua	Eta	CVD SiC
Dentsitatea (g/cm³)	2.33	3.21
Banda-hutsunea (eV)	1.12	2.3
Eroankortasun termikoa (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modulu elastikoa (GPa)	150	440
Gogortasuna (GPa)	11.4	24.5
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia	Pobrea	Bikaina

VeTek Semiconductor-ek silizio solido karburoa (CVD silizio karburoa) pieza aurreratuak eskaintzen ditu erdieroaleen ekipoetarako SiC fokatze eraztunak bezalakoak. Gure silizio karburo solidoko fokatze-eraztunek silizio tradizionala gainditzen dute, erresistentzia mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura altuko iraunkortasunari eta ioi-grabatzeko erresistentziari dagokionez.

Gure SiC fokatze-eraztunen ezaugarri nagusiak hauek dira:

Dentsitate handia grabaketa-tasa murriztuetarako.

Isolamendu bikaina banda hutsarekin.

Eroankortasun termiko handia eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.

Kolpe mekanikoen erresistentzia eta elastikotasun handia.

Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.

Erabiliz fabrikatuaPlasma-hobetutako lurrun-deposizio kimikoa (PECVD)teknikak, gure SiC fokatze-eraztunak erdieroaleen fabrikazioko grabatze-prozesuen eskakizun gero eta handiagoak betetzen dituzte. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiKapazitiboki akoplatutako plasma (CCP)sistemak.

VeTek Semiconductor-en SiC fokatze-eraztunek errendimendu eta fidagarritasun aparta eskaintzen dute erdieroaleen gailuen fabrikazioan. Aukeratu gure SiC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.

View as

SiC obleen eramaile solidoa

VeTek Semiconductor-en SiC oble-eramaile solidoa tenperatura altuko eta korrosioarekiko erresistenteak diren inguruneetarako diseinatuta dago erdieroale prozesu epitaxialetan eta egokia da purutasun-baldintza handiko obleak fabrikatzeko prozesu mota guztietarako. VeTek Semiconductor Txinako obleen hornitzaile liderra da eta erdieroaleen industrian epe luzerako bazkide izatea espero du.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

SiC disko-formako dutxa-buru trinkoa

VeTek Semiconductor Txinan erdieroaleen ekipamenduen fabrikatzaile liderra da eta Solid SiC Disko-formako Dutxa Buruaren fabrikatzaile eta hornitzaile profesionala. Gure Disko-formako Dutxa Burua oso erabilia da film meheen deposizioaren ekoizpenean, hala nola CVD prozesuan, erreakzio-gasaren banaketa uniformea bermatzeko eta CVD labearen oinarrizko osagaietako bat da.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

SiC zigilatzeko zatia

SiC Sealing Part produktuen fabrikatzaile eta fabrika aurreratu gisa Txinan. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part errendimendu handiko zigilatzeko osagaia da erdieroaleen prozesatzeko eta muturreko tenperatura eta presio handiko beste prozesu batzuetan erabiltzen dena. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

Silizio Karburozko Dutxa Burua

VeTek Semiconductor Siliziozko Karburoko Dutxa Buruko produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da Txinan. SiC dutxa-buruak tenperatura altuko tolerantzia bikaina du, egonkortasun kimikoa, eroankortasun termikoa eta gas-banaketaren errendimendu ona, eta horrek gas banaketa uniformea lor dezake eta filmaren kalitatea hobetu dezake. Hori dela eta, tenperatura altuko prozesuetan erabili ohi da, hala nola lurrun-deposizio kimikoa (CVD) edo lurrun-deposizio fisikoa (PVD) prozesuetan. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

Siliziozko karburozko zigilu eraztuna

Siliziozko Karburozko Zigilu Eraztunaren produktuen fabrikatzaile eta fabrika profesionala den aldetik, VeTek Semiconductor Siliziozko Karburozko Zigilu Eraztuna oso erabilia da erdieroaleen prozesatzeko ekipoetan, beroarekiko erresistentzia bikainagatik, korrosioarekiko erresistentziagatik, indar mekanikoagatik eta eroankortasun termikoagatik. Bereziki egokia da tenperatura altuko eta gas erreaktiboak dituzten prozesuetarako, hala nola CVD, PVD eta plasma grabaketa, eta erdieroaleen fabrikazio-prozesuan funtsezko aukera den materiala da. Zure kontsulta gehiago ongi etorriak dira.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

CVD SiC Blokea SiC Crystal Growtherako

VeTek Semiconductor CVD-SiC solteko iturrien, CVD SiC estalduren eta CVD TaC estalduren ikerketan eta garapenean eta industrializazioan oinarritzen da. CVD SiC blokea SiC Crystal Growth-erako adibide gisa hartuta, produktua prozesatzeko teknologia aurreratua da, hazkunde-tasa azkarra da, tenperatura altuko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia sendoa da. Ongi etorri galdetzera.

Irakurri gehiago Bidali kontsulta

<1 2 >

Txinan Silizio karburo solidoa fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika dugu. Zure eskualdeko behar zehatzei erantzuteko zerbitzu pertsonalizatuak behar dituzun edo Txinan egindako Silizio karburo solidoa aurreratu eta iraunkorra erosi nahi baduzu, mezu bat utz diezagukezu.