VeTek Semiconductor Txinako CVD SiC dutxa-buruaren fabrikatzaile eta berritzaile liderra da. Urte asko daramatzagu SiC materialean espezializatuta. CVD SiC dutxa-burua fokatze-eraztun-material gisa aukeratzen da, egonkortasun termokimiko bikainagatik, erresistentzia mekaniko handiagatik eta erresistentziagatik. plasma higadura. Espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.
Ziur egon zaitezke gure fabrikatik CVD SiC dutxa-burua erostea. VeTek Semiconductor CVD SiC Dutxa Burua silizio karburo solidoz (SiC) eginda dago, lurrun-deposizio kimikoko (CVD) teknika aurreratuak erabiliz. SiC bere eroankortasun termiko, erresistentzia kimiko eta erresistentzia mekanikoagatik aukeratzen da, CVD SiC Dutxa Burua bezalako bolumen handiko SiC osagaietarako aproposa.
Erdieroaleen fabrikaziorako diseinatua, CVD SiC Dutxa Buruak tenperatura altuak eta plasma prozesatzea jasaten ditu. Bere gas-fluxuaren kontrol zehatzak eta materialaren propietate bikainak prozesu egonkorrak eta epe luzerako fidagarritasuna bermatzen ditu. CVD SiC erabiltzeak kudeaketa termikoa eta egonkortasun kimikoa hobetzen ditu, produktu erdieroaleen kalitatea eta errendimendua hobetuz.
CVD SiC Dutxa Buruak hazkunde epitaxialaren eraginkortasuna hobetzen du prozesuko gasak uniformeki banatuz eta ganbera kutsaduratik babestuz. Erdieroaleen fabrikazioko erronkak modu eraginkorrean konpontzen ditu, hala nola tenperatura kontrola, egonkortasun kimikoa eta prozesuen koherentzia, bezeroei irtenbide fidagarriak eskainiz.
MOCVD sistemetan, Si epitaxian eta SiC epitaxietan erabiltzen dena, CVD SiC Shower Head-ak kalitate handiko erdieroaleen gailuen ekoizpena onartzen du. Bere eginkizun kritikoak prozesuen kontrol eta egonkortasun zehatza bermatzen du, errendimendu handiko eta fidagarriak diren produktuetarako bezeroen eskakizun anitzak betetzen ditu.
SiC solidoaren propietate fisikoak | |||
Dentsitatea | 3.21 | g/cm3 | |
Erresistentzia elektrikoa | 102 | Ω/cm | |
Flexur Indarra | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Gazteen Modulua | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Vickers gogortasuna | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E. (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Eroankortasun termikoa (RT) | 250 | W/mK |