Elektroi-sorta lurruntzea erresistentzia-berokuntzarekin alderatuta oso eraginkorra eta oso erabilia den estaldura-metodo bat da, lurrunketa-materiala elektroi-sorta batekin berotzen duena, film mehe batean lurrundu eta kondentsatuz.
Irakurri gehiagoHutseko estaldurak filmaren materialaren lurruntzea, hutsean garraiatzea eta film mehearen hazkundea barne hartzen ditu. Filmaren materiala lurruntzeko metodo eta garraio prozesu desberdinen arabera, hutseko estaldura bi kategoriatan bana daiteke: PVD eta CVD.
Irakurri gehiagoFilm meheen deposizioa ezinbestekoa da txiparen fabrikazioan, mikro gailuak sortzeko CVD, ALD edo PVD bidez mikra 1etik beherako filmak jarriz. Prozesu hauek osagai erdieroaleak eraikitzen dituzte film eroale eta isolatzaile txandakatuz.
Irakurri gehiagoErdieroaleen fabrikazio-prozesuak zortzi urrats ditu: obleen prozesatzea, oxidazioa, litografia, akuafortea, film meheen deposizioa, interkonexioa, probak eta ontziratzea. Hareatik datorren silizioa obleetan prozesatzen da, oxidatu, modelatu eta grabatu egiten da doitasun handiko zirkuituetarako.
Irakurri gehiago