Lurrun-jadapen fisikoaren (PVD) estalduraren printzipioak eta teknologia (2/2) - VeTek Semiconductor

Elektroi-sorta lurruntzeko estaldura

Erresistentzia-berokuntzaren desabantaila batzuengatik, hala nola, erresistentzia-lurruntze-iturri batek ematen duen energia-dentsitate baxua, lurrunketa-iturriaren beraren lurrunketa jakin batzuk filmaren garbitasunean eragiten duena, etab., lurrunketa-iturri berriak garatu behar dira. Elektroi-sorta lurruntzeko estaldura estaldura-teknologia bat da, lurruntze-materiala urez hoztutako arragoa batean sartzen duena, zuzenean elektroi-sorta erabiltzen du filmaren materiala berotzeko eta filmaren materiala lurrundu eta substratuan kondentsatzen du film bat sortzeko. Elektroi-sorta lurruntzeko iturria 6000 gradu Celsius-ra berotu daiteke, eta horrek ia ohiko material guztiak urtu ditzake, eta film meheak metatu ditzake abiadura handian metalak, oxidoak eta plastikoak bezalako substratuetan.

Laser pultsu deposizioa

Laser deposizio pultsatua (PLD)Filma egiteko metodo bat da, eta energia handiko pultsatuko laser izpiak erabiltzen ditu xede-materiala irradiatzeko (objektu handiko materiala edo hautsezko film-materialetik prentsatutako dentsitate handiko materiala), tokiko xede-materiala oso tenperatura altu batera igo dadin instant batean. eta lurrundu egiten da, substratuan film mehe bat osatuz.

Izpi molekularra epitaxia

Sormen molekularra epitaxia (MBE) film mehea prestatzeko teknologia bat da, film epitaxialaren lodiera, film mehearen dopaketa eta interfazearen lautasuna eskala atomikoan zehaztasunez kontrola ditzakeena. Batez ere, erdieroaleetarako doitasun handiko film meheak prestatzeko erabiltzen da, hala nola film ultrameheak, geruza anitzeko putzu kuantikoak eta supersareak. Gailu elektronikoen eta gailu optoelektronikoen belaunaldi berrirako prestatzeko teknologia nagusietako bat da.

Izpi molekularra epitaxia kristalaren osagaiak lurrunketa-iturri ezberdinetan jartzen dituen estaldura metodo bat da, poliki-poliki filmaren materiala 1e-8Pa-ko huts ultra-altuko baldintzetan berotzen du, molekular izpi-fluxua sortzen du eta substratuan ihinztatzen du. mugimendu termikoko abiadura eta proportzio jakin bat, film mehe epitaxialak hazten ditu substratuan eta hazkuntza-prozesua linean kontrolatzen du.

Funtsean, hutsean lurruntzeko estaldura bat da, hiru prozesu barne: izpi molekularra sortzea, izpi molekularra garraiatzea eta izpi molekularra deposizioa. Izpi molekularra epitaxia ekipoaren diagrama eskematikoa erakusten da goian. Helburu-materiala lurrunketa iturrian jartzen da. Lurruntze-iturri bakoitzak bafle bat du. Lurruntze iturria substratuarekin lerrokatzen da. Substratua berotzeko tenperatura erregulagarria da. Horrez gain, film mehearen egitura kristalinoa sarean monitorizatzeko gailu bat dago.

Hutsean sputtering estaldura

Gainazal solidoa partikula energetikoekin bonbardatzen denean, gainazal solidoko atomoek partikula energetikoekin talka egiten dute, eta posible da energia eta momentu nahikoa lortzea eta gainazaletik ihes egitea. Fenomeno honi sputtering deitzen zaio. Sputtering estaldura estaldura-teknologia bat da, helburu solidoak partikula energetikoekin bonbardatzen dituena, xede-atomoak sputtering eta substratuaren gainazalean metatuz film mehe bat osatzeko.

Katodoaren xede-azalera eremu magnetikoa sartzeak eremu elektromagnetikoa erabil dezake elektroiak mugatzeko, elektroien bidea zabaltzeko, argon atomoen ionizazio probabilitatea handitzeko eta presio baxuan deskarga egonkorra lortzeko. Printzipio honetan oinarritutako estaldura metodoari magnetron sputtering estaldura deitzen zaio.

-ren printzipio-diagramaDC magnetron sputteringgoian erakusten den bezala da. Huts-ganberaren osagai nagusiak magnetron sputtering helburua eta substratua dira. Substratua eta helburua bata bestearen aurrean daude, substratua lurrean dago eta helburua tentsio negatibo batera konektatuta dago, hau da, substratuak potentzial positiboa du xedearekiko, beraz, eremu elektrikoaren norabidea substratutik dator. xedera. Eremu magnetikoa sortzeko erabiltzen den iman iraunkorra xedearen atzealdean ezartzen da, eta indar-lerro magnetikoek iman iraunkorraren N polotik S polora seinalatzen dute, eta espazio itxi bat osatzen dute katodoaren xede-azalerarekin. 

Helburua eta imana hozten dira ur hoztearekin. Huts-ganbera 1e-3Pa baino gutxiagora ebakuatzen denean, Ar hutsean sartzen da 0,1 eta 1Pa arte, eta gero tentsio bat aplikatzen da polo positibo eta negatiboetan gasa distira deskargatzeko eta plasma sortzeko. Argon plasmako argon ioiak katodoaren xederantz mugitzen dira eremu elektrikoaren indarraren eraginez, katodoaren eremu ilunetik igarotzean azeleratu egiten dira, helburua bonbardatzen dute eta helburuko atomoak eta bigarren mailako elektroiak kanporatzen dituzte.

DC sputtering estaldura-prozesuan, gas erreaktibo batzuk sartu ohi dira, hala nola oxigenoa, nitrogenoa, metanoa edo hidrogeno sulfuroa, hidrogeno fluoruroa, etab. Gas erreaktibo hauek argonaren plasmara gehitzen dira eta Argoarekin batera kitzikatu, ionizatu edo ionizatu egiten dira. atomoak hainbat talde aktibo eratzeko. Aktibatutako talde hauek xede-atomoekin batera substratuaren gainazalera iristen dira, erreakzio kimikoak izaten dituzte eta dagozkien film konposatuak sortzen dituzte, hala nola oxidoak, nitruroak, etab. Prozesu honi DC magnetroi erreaktiboa sputtering deritzo.

VeTek Semiconductor Txinako fabrikatzaile profesionala daTantalo Karburozko Estaldura, Siliziozko karburozko estaldura, Grafito berezia, Silizio Karburo ZeramikaetaBeste Erdieroale Zeramika batzuk. VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako estaldura produktuetarako soluzio aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartu du.

Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Posta elektronikoa: anny@veteksemi.com