Lurrun-deposizio fisikoaren estalduraren printzipioak eta teknologia (1/2) - VeTek Semiconductor

Prozesu fisikoaHutsean estaldura

Hutsean estaldura hiru prozesutan bana daiteke funtsean: "filmaren materialaren lurrunketa", "hutsean garraiatzea" eta "film meheen hazkundea". Hutsean estalduran, filmaren materiala solidoa bada, film solidoaren materiala gas bihurtzeko neurriak hartu behar dira eta, ondoren, lurrundutako materialaren partikulak hutsean garraiatzen dira. Garraio prozesuan, baliteke partikulek talkak ez izatea eta substratura zuzenean iristea, edo espazioan talka egin dezakete eta sakabanatu ondoren substratuaren gainazalera iristea. Azkenik, partikulak substratuan kondentsatu eta film mehe batean hazten dira. Hori dela eta, estaldura-prozesuak filmaren materiala lurruntzea edo sublimatzea, gas-atomoak hutsean garraiatzea eta gainazal solidoan gas-atomoen adsortzioa, difusioa, nukleazioa eta desortzioa dakar.

Hutseko estalduraren sailkapena

Filmaren materiala solidotik gas izatera aldatzeko modu ezberdinen arabera, eta filmaren materialaren atomoen garraio-prozesu desberdinen arabera, hutsean estaldura lau motatan bana daiteke funtsean: hutsean lurruntzea, hutsean sputtering, hutsean ioi plakatzea, eta hutsean lurrun-deposizio kimikoa. Lehenengo hiru metodoei deitzen zaielurrun-deposizio fisikoa (PVD), eta azken honi deitzen zaiolurrun-deposizio kimikoa (CVD).

Hutsean lurruntzeko estaldura

Hutsean lurruntzeko estaldura hutsean estaltzeko teknologia zaharrenetako bat da. 1887an, R. Nahrwold-ek platinozko filma hutsean platinoaren sublimazio bidez prestatzen zela jakinarazi zuen, lurruntze-estalduraren jatorritzat hartzen dena. Orain lurruntze-estaldura hasierako erresistentzia-lurruntze-estalduratik hainbat teknologiatara garatu da, hala nola elektroi-izpien lurruntze-estaldura, indukzio-berokuntza-lurruntze-estaldura eta pultsu-laser-lurruntze-estaldura.

Erresistentzia berogailuahutsean lurruntzeko estaldura

Erresistentzia-lurruntze-iturri filmaren materiala zuzenean edo zeharka berotzeko energia elektrikoa erabiltzen duen gailua da. Erresistentzia-lurruntze-iturri normalean metal, oxido edo nitruroz egina dago, urtze-puntu altua, lurrun-presio baxua, egonkortasun kimiko eta mekaniko ona dutenak, hala nola wolframioa, molibdenoa, tantalioa, purutasun handiko grafitoa, aluminio oxidoaren zeramika, boro nitruroa zeramika eta beste material batzuk. . Erresistentzia-lurruntze-iturrien formen artean harizpi-iturri, paper-iturri eta arragoak daude batez ere.

Erabiltzean, harizpi-iturrietarako eta paper-iturrietarako, finkatu lurrunketa-iturriaren bi muturrak azkoinekin terminal-zutoinetara. Arragoa alanbre espiral batean jartzen da normalean, eta alanbre espirala elikatzen da arragoa berotzeko, eta, ondoren, arragoa filmaren materialari beroa transferitzen zaio.

VeTek Semiconductor Txinako fabrikatzaile profesionala daTantalo Karburozko Estaldura, Siliziozko karburozko estaldura, Grafito berezia, Silizio Karburo ZeramikaetaBeste Erdieroale Zeramika batzuk.VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako estaldura produktuetarako soluzio aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartu du.

Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jarri gurekin harremanetan.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Posta elektronikoa: anny@veteksemi.com