VeTek Semiconductor silizio nitruroaren fabrikazioan zentratzen da eta aditu nagusiek eta goi mailako talentu teknikoek osatutako ikerketa eta garapen taldea du. Silizio nitrurozko zeramikazko zeramikazko material orokorren gogortasuna, beroarekiko erresistentzia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia abantailak dituzte, eta kolpe termikoen erresistentzia ona, tenperatura altuko erresistentzia, auto-lubrikazio ona eta egonkortasun kimiko ona ditu, eta asko dira. energia berrietan, industria kimikoan, aeroespazialean eta erdieroaleetan erabiltzen da.
1. Egonkortasun kimiko bikaina
Silizio nitrurozko zeramikek egonkortasun kimiko bikaina dute eta hainbat azido, alkali eta gas korrosibo indartsu jasaten dituzte. Erdieroaleen fabrikazio prozesuan maiz produktu kimiko korrosiboei aurre egin behar die, Silizio nitrurozko zeramikak epe luzerako errendimendu egonkorra bermatu dezake.
2. Propietate mekaniko bikainak
Silizio nitrurozko zeramikak gogortasun handia, konpresio-erresistentzia eta higadura-erresistentzia bikaina ditu, tentsio mekanikoa eta gainazaleko higadura jasateko gai dira, ez deformatzeko edo hausteko erraza. Propietate mekaniko horrek oso egokia egiten du erdieroaleen ekipoetako egitura eta prozesuko piezen material gisa.
3. Tenperatura handiko egonkortasuna
Silizio nitrurozko zeramikak egonkortasuna mantentzen du tenperatura altuko inguruneetan, ez da erraza bigundu edo urtzen, eta tenperatura altuko prozesamendua eta manipulazioa jasan ditzake erdieroaleen fabrikazio prozesuan. Horri esker, tenperatura altuko prozesuko ekipoen funtsezko osagaien fabrikazioan erabil daiteke, hala nola, gripperak, erreakzio-ganberaren osagaiak eta abar.
4. Propietate isolatzaile bikainak
Propietate isolatzaileak funtsezkoak dira erdieroaleen gailuen fabrikazioan. Silizio nitrurozko zeramikazko propietate isolatzaile onak dituzte, zirkuituaren osagaiak korronte ihesetatik edo interferentzia elektromagnetikoetatik modu eraginkorrean isolatu eta babestu ditzaketenak, gailuaren egonkortasuna eta fidagarritasuna hobetzen lagunduz.
5. Eroankortasun termikoa eta eroankortasun termikoa
Silizio nitrurozko zeramikek eroankortasun termiko handia dute, gailuak sortutako beroa modu eraginkorrean eraman eta xahutu dezake, funtzionamendu-prozesuan gailuaren tenperatura-egonkortasuna mantentzen lagunduz. Hau funtsezkoa da gailu erdieroaleen errendimendu handiko funtzionamendurako.
1. Mandril elektrostatikoak eta grabatzeko ganberaren osagaiak
Silizio nitrurozko zeramikak sarritan erabiltzen dira erdieroaleen fabrikazioan kaxa elektrostatikoetarako eta grabatzeko ganberako osagaietarako material gisa, egonkortasun kimiko bikainagatik eta tenperatura altuko erresistentziagatik. Mandril elektrostatikoak obleak edo substratuak finkatzeko eta egonkortzeko erabiltzen dira, eta grabatzeko ganberaren osagaiak gas korrosiboak eta tenperatura altuko inguruneak jasateko erabiltzen dira.
2. gasa banatzeko plakak eta islatzaileak
Silizio nitrurozko zeramika gasa banatzeko plaketan eta islatzaileetan erdieroaleen ekipoen fabrikazioan ere erabiltzen da. Gasa banatzeko plakak erreakzio-ganberan gas erreaktiboak edo babesgarriak uniformeki banatzeko erabiltzen dira, eta islatzaileak, berriz, erreakzio-ganberako argiaren banaketa eta islada optimizatzeko erabiltzen dira, erreakzioaren eraginkortasuna eta uniformetasuna hobetzeko.
3. Euskarriak eta osagai termikoak
Silizio nitrurozko zeramika erdieroaleen fabrikazio-ekipoetan euskarri eta kudeaketa termikoko osagai gisa erabiltzen dira sarritan. Osagai hauek erresistentzia mekaniko ona, higadura erresistentzia eta eroankortasun termikoa izan behar dute ekipoen funtzionamendu egonkorra eta gailuen prozesatzeko zehaztasuna bermatzeko.
4. Leunketa Mekaniko Kimikoa (CMP) pads
Silizio nitruroa zeramika oso erabilia da leunketa mekaniko kimikoko (CMP) prozesuan kuxin-material gisa. Lautasun eta higadura erresistentzia bikaina ditu, eta leunketa-prozesuan euskarri egonkorra eman dezake erdieroaleen oblearen gainazalaren lautasuna eta doitasuna bermatzeko.