Siliziozko karburoko oblea

VeTek Semiconductor Silizio Karburoaren Oblea Chuck-ek Silizio Karburoko materialen propietate bikainak erabiltzen ditu erdieroaleen ekoizpenaren eskakizun zorrotzak betetzeko, batez ere zehaztasun eta fidagarritasun oso handiak behar dituen erdieroaleen prozesamenduan.

Erdieroaleen prozesatzeko prozesuan,Silizio karburoaTenperatura altuko erresistentzia bikaina du (1400 °C-ra arte egonkor funtziona dezake), eroankortasun baxua (SiC-k eroankortasun nahiko baxua du, normalean 10^^-3S/m) eta dilatazio termiko koefiziente baxua (4,0 × 10^ inguru^-6/°C), ezinbesteko eta garrantzitsua den materiala dena, bereziki egokia den Siliziozko Karburoko Wafer Chuck-a fabrikatzeko.

Garaian zeharhazkunde epitaxialeko prozesua, material erdieroaleko geruza mehe bat substratu batean metatzen da, oblearen erabateko egonkortasuna eskatzen du filmaren deposizio-geruza uniformeak eta kalitatezkoak bermatzeko. SiC Vacuum Chuck-ek hutsean euste irmo eta koherentea sortuz lortzen du oblearen edozein mugimendu edo deformazio saihesteko.

Siliziozko Karburoko Oblea Chuck-ek shock termikoaren aurkako erresistentzia bikaina eskaintzen du. Tenperatura-aldaketa azkarrak ohikoak dira erdieroaleen fabrikazioan, eta gorabehera horiek jasan ezin dituzten materialak pitzatu, okertu edo huts egin daitezke. Silizio-karburoak hedapen termiko koefiziente baxua du eta bere forma eta funtzioa mantendu dezake tenperatura-aldaketa zorrotzetan ere, epitaxia-prozesuan oblea seguru mantentzen dela ziurtatuz, mugimendurik edo oker lerrokatu gabe.

Gainera,epitaxia prozesuasarritan gas erreaktiboak eta beste produktu kimiko korrosibo batzuk hartzen ditu. SiC Wafer Chuck-en inertetasun kimikoak ingurune gogor hauek ez dutela kaltetuko bermatzen du, bere errendimendua mantenduz eta bere bizitza-bizitza luzatuz. Iraunkortasun kimiko honek Wafer Chuck-aren ordezko maiztasuna murrizten du, baizik eta produktuaren errendimendu koherentea bermatzen du hainbat produkzio-ziklotan, erdieroaleen fabrikazio-prozesuaren eraginkortasun orokorra eta kostu-eraginkortasuna hobetzen lagunduz.

VeTek Semiconductor Txinan Silizio Carbide Wafer Chuck produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da. Chuck produktu mota ezberdinak eskain ditzakegu, hala nolaSiC zeramikazko Chuck porotsua, Hutseko Chuck SiC porotsua, Zeramikazko Hutseko Chuck porotsuaetaTaC estalitako Chuck, etab. VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktuen irtenbide aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartu du. Zinez espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.

SEM DATUAK CVDSIC FILM KRISTAL EGITURA：

VeTek Semiconductor Silizio-karburoko obleak Chuck-dendak：