silizio karburoa zeramikazko estaldura grafitoa berogailua

VeTek Semiconductor Silizio-karburoa zeramikazko estaldura grafito-berogailuaGrafitoaren eroankortasun elektriko eta termiko bikaina eta siliziozko karbono zeramikazko estalduraren tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta higadura erresistentzia konbinatzen ditu eta erdieroaleen fabrikazio ingurune gogoretarako diseinatuta dago. 

Silizio karburoa zeramikazko estaldura grafitozko berogailuahutsean estaltzeko (lurruntze) ekipoetan erabiltzen da batez ere, eta erabili ohi diren metodoak PCD (Plasma Chemical Drying) eta PVD (Lurrun-deposizio fisikoa) dira. Produktu honek zeregin garrantzitsua izan du aurrerapen teknologikoa sustatzeko eta erdieroaleen industrian produkzio-eraginkortasuna hobetzeko.Zinez espero dugu zurekin lankidetza gehiago izatea.

Silizio Karburo Zeramikazko Estaldura Grafito Berogailuaren materiala eta egitura ezaugarriak hauek dira:

Grafitozko substratua: Grafitoa bere eroankortasun termiko handiagatik eta hedapen termiko koefiziente baxuagatik ezaguna da. Tenperatura aldaketei azkar erantzun diezaieke eta tenperatura altuetan egitura-egonkortasuna mantentzen du.

Siliziozko karbono zeramikazko estaldura: SiC estaldura uniformeki estaltzen da grafitoaren gainazalean lurrun-deposizio kimikoen edo beste prozesu aurreratuen bidez. SiC-k oso gogortasun eta korrosio kimikoarekiko erresistentzia handia du, eta horrek grafitoaren substratua tenperatura altuko oxidaziotik eta ingurune korrosiboetatik babestu dezake.

Silizio Karburo Zeramikazko Estaldura Grafito Berogailuaren produktuaren egiturazko diseinu bereziak zehazten duproduktu honen abantaila ordezkaezinak erdieroaleen prozesatzeko prozesuan:

Berokuntza eraginkorra eta uniformea:

Eroankortasun termikoa: Grafitoaren eroankortasun termiko altuak berogailuak behar den tenperatura azkar iristea eta mantentzea ahalbidetzen du, eta SiC estaldurak beroaren banaketa uniformea ​​bermatzen du. Hau bereziki garrantzitsua da tenperatura kontrol zehatza behar duten erdieroaleen prozesuetan, hala nola prozesamendu termiko azkarra (RTP) eta lurrun-deposizio kimikoa (CVD).

Tenperaturaren uniformetasuna: Bero banaketa uniformearen bidez, Silizio Karburo Zeramikazko Estaldura Grafitoaren Berogailuak estres termikoa eta tenperatura-gradientea eraginkortasunez murrizten ditu, erdieroaleen obleen koherentzia eta kalitate-egonkortasuna bermatuz berokuntza-prozesu osoan zehar.

Korrosioaren aurkako babesa:

Erresistentzia kimikoa: SiC estalduraren korrosio kimikoaren erresistentziari esker, berogailuak egonkor eta denbora luzez funtzionatzea ahalbidetzen du gas korrosiboetan eta ingurune kimikoetan, grafitoaren substratua kaltetu gabe. Ezaugarri hau bereziki garrantzitsua da lurrun-deposizio kimikoa (CVD) eta plasma-lurrun-deposizio kimiko hobetua (PECVD) bezalako prozesuetan.

Oxidazio erresistentzia: Tenperatura altuetan, SiC estaldurak grafito-substratuaren oxidazioa saihestu dezake, berogailuaren bizitza luzatzen du eta ekipoen mantentze-lanaren maiztasuna eta kostua murrizten du.

Partikulen kutsadura murriztea:

Gainazaleko egonkortasuna: SiC estaldura higadurari erresistentea izateaz gain, partikulak materialaren gainazaletik erortzea eragozten du ziklo termikoaren edo erreakzio kimikoen ondorioz, eta, ondorioz, erdieroaleen fabrikazioan gerta daitekeen partikulen kutsadura arriskua murrizten du eta garbitasun handiko prozesuaren ingurunea bermatzen du.

Hobetu prozesuen fidagarritasuna eta eraginkortasuna:

Bizitza luzeko diseinua: Grafitoaren erresistentzia mekanikoaren eta SiC estalduraren higadura-erresistentziaren konbinazioa dela eta, siliziozko karburoaren zeramikazko estaldura grafito-berogailuak efizientzia handiko funtzionamendua mantendu dezake denbora luzez prozesu baldintza gogorretan, ekipamenduaren fidagarritasun orokorra nabarmen hobetuz.

Energiaren erabilera eraginkorra: Grafitoaren eroankortasun termiko altuak eta SiC estalduraren tenperatura altuko egonkortasunari esker, berogailuak energia-kontsumoa murriztea ahalbidetzen du tenperatura kontrolatzeko zehaztasuna hobetzen duen bitartean, eta horrela erdieroaleen ekoizpenaren eraginkortasun orokorra hobetzen du.

Oinarrizko propietate fisikoakSilizio-karburoa zeramikazko estaldura grafito-berogailua:

VeTek SemiconductorSilizio-karburoa zeramikazko estaldura grafito-berogailuadendak:

Txip erdieroaleen epitaxia industria-katearen ikuspegi orokorra:

/beste-prozesua