SiC disko-formako dutxa-buru trinkoa

Solid SiC Disko-formako Dutxa Buruaren eginkizuna CVD prozesuan erreakzio-gasa deposizio-eremuaren gainetik uniformeki banatzea da, gasa erreaktorean zehar uniformeki hedatu ahal izateko film laua eta uniformea ​​lortzeko.

Solid SiC Dutxa Burua CVD labearen goialdean edo gasaren sarreratik gertu dago. Erreakzio-gasa disko-formako egiturara sartzen da dutxa-buruan banatutako zuloetatik eta dutxa-buruaren gainazalean zehar zabaltzen da. Kanal anitzeko diseinuaren eta uniformeki banatutako irteeraren bidez, erreakzio gasa erreaktorearen eremu osora uniformeki isur daiteke, kontzentrazioa edo turbulentzia saihestuz eta substratuan metatutako geruzen lodieraren koherentzia bermatuz.

Aldi berean, Disko Erdieroaleen formako Dutxa Buruaren egiturak difusio-efektua ere badu, eta horrek gasaren emaria modu eraginkorrean murrizten du, tokien irteeran uniformeki hedatu ahal izateko eta tokiko gasaren eragina murrizteko. deposizio-efektuan fluxu-aldaketak. Gasaren eragin zuzena saihesten laguntzen du substratuan eta deposizio irregularren arazoa saihesten du.

Materialen ikuspuntutik, Solid SiC Gas Dutxa Burua tenperatura altuko erresistentea, korrosioarekiko erresistentea eta erresistentzia handiko SiC solido materiala oso egonkortasun handikoa da. CVD labean denbora luzez egonkor funtziona dezake eta bizitza luzea du.

VeTek Semiconductor-ek kalitate handiko zerbitzu pertsonalizatuak eskaintzen ditu. Solid SiC Disko-formako Dutxa Buruaren forma eta zuloen diseinua malgutasunez doi daiteke bezeroaren prozesu-baldintzen arabera, gas mota, emari-tasa eta deposizio-material desberdinetara egokitzeko. Erreaktoreen edo substratuen tamaina desberdinetarako, disko-formako dutxa-buruak pertsonalizatu daitezke diametro eta zulo-banaketa desberdinak dituzten gas-banaketaren efektua optimizatzeko.

VeTek Semiconductor-ek prozesu helduak eta teknologia aurreratuak ditu Solid SiC Semiconductor Shower Head produktuetarako, bezero kopuru handi bati CVD prozesuetan etengabeko aurrerapena lortzen lagunduz. VeTek Semiconductor-ek zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero du Txinan.

SiC solidoaren propietate fisikoak

VeTek SemiconductorSiC solidoa disko-formako dutxa-burua ekoizpen-dendak