Zeramikazko Chuck Elektrostatikoa

Erdieroaleen ekoizpen-prozesuak, batez ere obleak prozesatzea, huts-ingurunean egiten dira, eta mekanikoki finkatzeko obleak egiten ditu. 

zenbait arrisku. Indarra estutze puntuan kontzentratzen denean, silizio hauskorrak zati txikiak bota ditzakete, eta kalte larriak eragin ditzake obleen ekoizpenean.

Kasu honetan, zeramikazko Chuck elektrostatikoa aukera hobea bihurtzen da, ostia indar elektrostatikoaz finkatzen duena. Indar elektrostatikoak uniformeki eragiten du oblean, beraz, oblea lautasunez finkatu daiteke, prozesuaren zehaztasuna hobetuz.

Ikerketa garrantzitsuenen arabera, zeramikazko mandril elektrostatikoak beste xurgatze elektrostatiko batzuek baino xurgapen indartsuagoa dute. Esate baterako, zeramikazko zorrotada elektrostatikoak PET filmaren zorrotada elektrostatikoa baino xurgapen handiagoa du.

Zeramika Chuck errendimendu handiko zeramikazko materialekin egin ohi da, hala nola Al2O3, AlN edo SiC, bero-erresistentzia, isolamendu eta korrosioarekiko erresistentzia handia duena. Porous SiC Ceramic Chuck ez da egonkorra bakarrik muturreko tenperaturetan, baizik eta eraginkortasunez ekiditen du zeramikazko E-chuck degradazioa fabrikazio prozesuan zehar erreaktibo kimikoen eta plasma grabatzearen ondorioz.

Tenperatura kontrola: Eroankortasun termiko altuak eta zeramikazko materialen propietate termiko egonkorrak Alumina Zeramika Hutseko Chuck-ek tenperatura modu eraginkorrean kontrolatzea ahalbidetzen dute, eta horrela, prozesuan zehar tenperatura-banaketa optimizatzen du.

Hutsean moldagarritasuna: Zeramikazko Chuck elektrostatikoa hutseko inguruneetarako egokia da, batez ere presio baxuko eta doitasun handiko grabaketa prozesuetan.

Partikula baxua sortzea: SiC zeramikazko E-chuck porotsuak gainazal leuna du, eta horrek obleak finkatzerakoan partikulen kutsadura murriztu dezake eta produktuaren etekina hobetzen laguntzen du.

Aplikazioa: Erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen da nagusiki, zeramikazko Chuck elektrostatiko desmuntagarria kokapen zehatza eta egonkortasuna eskaintzen duena, eta hori oso lagungarria da litografia, grabatu eta beste erdieroaleen obleak prozesatzeko fabrikazio prozesuetarako. Ziurtatu ostia osorik dagoela prozesatzeko garaian eta hobetu txirbilaren ekoizpenaren kalitatea.

VeTek SemiconductorZeramikazko E-chuck ekoizpen dendak: