Lurrun Kimikoen Deposizio Prozesua SiC Ertz Eraztun Solidoa

CVD prozesua Solid SiC Edge Ring:

● Materialaa: Fokatze-eraztuna SiC solidoz fabrikatuta dago, purutasun handiko eta errendimendu handiko zeramikazko materiala. Tenperatura handiko sinterizazioa edo SiC hautsak trinkotzea bezalako metodoak erabiliz fabrikatzen da. SiC material solidoak iraunkortasun bikaina, tenperatura altuko erresistentzia eta propietate mekaniko bikainak eskaintzen ditu.

●  Abantailak: cvd sic eraztunak egonkortasun termiko bikaina eskaintzen du, bere egitura-osotasuna mantenduz, grabatu lehorreko prozesuetan aurkitzen diren tenperatura altuko baldintzetan ere. Bere gogortasun handiak tentsio mekanikoaren eta higaduraren aurkako erresistentzia bermatzen du, eta bizitza iraupena luzatzen du. Gainera, SiC solidoak inertetasun kimikoa erakusten du, korrosiotik babesten du eta denboran zehar bere errendimendua mantenduz.

CVD SiC estaldura:

●  Materialaa: CVD SiC estaldura SiC-ren jalkitze film mehe bat da, lurrun-deposizio kimikoa (CVD) teknikak erabiliz. Estaldura substratu-material baten gainean aplikatzen da, hala nola grafitoa edo silizioa, azalerari SiC propietateak emateko.

●  Konparaketa: CVD SiC estaldurek abantaila batzuk eskaintzen dituzten arren, hala nola, forma konplexuetan deposizio konformatua eta filmaren propietate sintonizagarriak, baliteke SiC solidoaren sendotasunarekin eta errendimenduarekin bat ez izatea. Estalduraren lodiera, egitura kristalinoa eta gainazaleko zimurtasuna CVD prozesuko parametroen arabera alda daiteke, eta baliteke estalduraren iraunkortasunari eta errendimendu orokorrari eraginez.

Laburbilduz, VeTek Semiconductor solido SiC fokatze-eraztun aukera paregabea da grabatu lehorreko aplikazioetarako. Bere SiC material solidoak tenperatura altuko erresistentzia, gogortasun bikaina eta inertetasun kimikoa bermatzen ditu, irtenbide fidagarria eta iraunkorra bihurtuz. CVD SiC estaldurak deposizioan malgutasuna eskaintzen duen arren, cvd sic eraztunak grabatu lehorreko prozesu zorrotzetarako beharrezkoak diren iraunkortasun eta errendimendu paregabeak eskaintzen ditu.

SiC solidoaren propietate fisikoak