TaC Estaldura Errotazio Plaka

VeTek Semiconductor-en TaC estalduraren errotazio-plakak purutasun handiko konposizioa du, 5 ppm baino gutxiagoko ezpurutasun-edukia eta egitura trinkoa eta uniformea, oso erabilia dena LPE EPI sistemetan, Aixtron sistemetan, Nuflare sistemetan, TEL CVD sistemetan, VEECO sistemetan, TSI. sistemak.

Propietate mekaniko bikainak:

Estaldura 2300HV arteko gogortasuna, higadura erresistentzia bikainarekin.

Estalduraren eta substratuaren arteko atxikimendua sendoa da, eta ez da erraza erortzea edo zuritzea.

Estaldurak egitura-egonkortasun ona mantentzen du tenperatura altuetan.

Korrosioarekiko erresistentzia bikaina:

TaC materialak berak egonkortasun kimiko bikaina eta korrosioarekiko erresistentzia du.

VeTek erdieroaleen estaldurak ondo funtzionatzen dute gas-ingurune erasokor ezberdinetan.

Ekipoaren barneko osagaiak eraginkortasunez babes ditzake korrosioaren kalteetatik.

Azalera akabera handia:

VeTek erdieroaleak estaldura prozesu zehatza erabiltzen du nahi den akabera lortzeko.

Gainazaleko zimurtasun baxuak partikulen metaketa eta deposizioa murrizten laguntzen du.

Estalduraren koherentzia ona da:

VeTek Semiconductor-ek soinuaren kalitatea kontrolatzeko sistema bat du loteen arteko errendimendu koherentea bermatzeko.

Estalduraren lodiera uniformeki banatuta dago eta ez dago tokiko akats nabaririk.

Aplikazio praktikoen errendimendu bikaina:

VeTek erdieroaleen TaC estaldura oso erabilia da epitaxial ekipoen fabrikatzaile ezagun askotan etxean eta atzerrian.

Produktua TaC estalitako biraketa-plakaren parametro fisikoa: