Zeramikazko pita erdieroalea

Zeramikazko pita erdieroaleak paper garrantzitsua betetzen duHDP-CVD prozesua, gas-fluxua zehatz kontrolatzeko eta ziurtatzeko erabiltzen dakalitate handiko film deposizioa. Zeramikazko pita-spray zehaztasunez diseinatuta dago gas-emari koherentea eta kontrolagarria bermatzeko, gasa erreakzio-ganberara sartzen denean turbulentzia posibleak minimizatzeko.

Zehaztapen Teknikoak:

1.Materialen osaera:

VeTeK Semiconductor Zeramikazko harea lehertzeko pita zeramika erdieroalez egina dago normalean, hala nola aluminio oxidoa (Al2O3),silizio karburoa (SiC)edo zirkonio oxidoa (ZrO2), material hauek propietate bikainak dituzte:

    • egonkortasun termiko handia (1000 ℃ baino gehiagoko tenperaturak jasan ditzake)

    • erabiltzen diren gas erreaktiboen korrosioarekiko erresistentziaCVD prozesuak(esaterako, silanoa, amoniakoa)

    • plasma etengabeko esposizioarekiko erresistentzia.

2. Egituraren Diseinua:

    • Orifizioaren tamaina: Erdieroaleen zeramikazko pitaren orifizioa zientifikoki diseinatuta dago gas-fluxuaren kontrol zehatza ahalbidetzeko, eta horrek filmaren uniformitatean eta lodieran eragiten du.

    • Angeluak eta Geometriak: substratuan zehar gasaren banaketa uniformea ​​bermatzeko zehazki diseinatuta dago, metatutako geruzaren akatsak gutxituz.

Erdieroaleen industrian, erdieroale zeramikazko eztanda-toberak funtsezko eginkizuna betetzen du batez ere HDP-CVD prozesuan. Gainera, mikroelektronika ekoizteko film meheak metatzeko erabiltzen dira, kalitate handiko gainazaleko estaldurak, uniformeak eta kutsatzailerik gabekoak bermatuz.

VeTeK Erdieroale Zeramikazko Tobera dendak: