VeTek Semiconductor-en TaC Estaldura Idulkia euskarri plaka erdieroaleen epitaxia prozesuen eskakizun espezifikoak betetzeko diseinatutako doitasun handiko produktua da. TaC estaldurarekin, tenperatura altuko erresistentziarekin eta inertetasun kimikoarekin, gure produktuak kalitate handiko EPI geruzak kalitate handiko ekoizteko ahalmena ematen dizu. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta epe luzerako zure bazkide izatea espero dugu Txinan.
VeTek Semiconductor Txinako fabrikatzailea eta hornitzailea da, batez ere CVD TaC estaldura suszeptoreak, Sarrerako eraztunak, Wafer Chunck, TaC estalitako euskarria, TaC Estaldura Pedestal euskarri plaka urte askotako esperientziarekin ekoizten dituena. Espero dut zurekin negozio-harremana eraikitzea.
TaC zeramikak 3880 ℃ arteko urtze-puntua du, gogortasun handia (Mohs gogortasuna 9 ~ 10), eroankortasun termiko handia (22W·m-1·K-1), toleste-indar handia (340 ~ 400MPa) eta hedapen termiko txikia. koefizientea (6,6×10−6K−1), eta egonkortasun termokimiko bikaina eta propietate fisiko bikainak erakusten dituzte. Grafito eta C/C material konposatuekin bateragarritasun kimiko eta mekaniko ona du, beraz, TaC estaldura oso erabilia da babes termiko aeroespazialean, kristal bakarreko hazkundean eta Aixtron bezalako erreaktore epitaxialetan, LPE EPI erreaktore erdieroaleen industrian. TaC estalitako grafitoak korrosioarekiko erresistentzia kimiko hobea du harri hutsezko tintak edo SiC estalitako grafitoak baino, egonkor erabil daiteke 2200°-ko tenperatura altuan, ez du erreakzionatzen elementu metaliko askorekin, erdieroaleen kristal bakarreko hazkuntzaren hirugarren belaunaldia da, epitaxia eta oblea grabatzeko eszena. errendimendu onenaren estaldurak, tenperatura eta ezpurutasunen kontrolaren prozesua nabarmen hobetu dezake, kalitate handiko silizio karburozko obleak eta erlazionatutako obleak epitaxialak prestatzea. Bereziki egokia da GaN edo AlN kristal bakarreko MOCVD ekipoetan eta SiC kristal bakarreko PVT ekipoetan hazteko, eta hazitako kristal bakarreko kalitatea hobetzen da, jakina.
TaC estalduraren propietate fisikoak | |
Dentsitatea | 14,3 (g/cm³) |
Emisio espezifikoa | 0.3 |
Dilatazio termikoaren koefizientea | 6,3 10-6/K |
Gogortasuna (HK) | 2000 HK |
Erresistentzia | 1×10-5 Ohm*cm |
Egonkortasun termikoa | <2500℃ |
Grafitoaren tamaina aldatzen da | -10~-20um |
Estalduraren lodiera | ≥20um balio tipikoa (35um±10um) |