VeTek semieroale erdieroaleen industriarako tantalio karburoko estaldura materialen fabrikatzaile nagusia da. Gure produktuen eskaintza nagusiak CVD tantalio karburoaren estalduraren piezak, SiC kristalen hazkuntzarako TaC estaldura sinterizaturako piezak edo erdieroaleen epitaxia prozesurako daude. ISO9001 gaindituta, VeTek Semiconductor-ek kalitatearen kontrol ona du. VeTek Semiconductor tantalio karburoaren estalduraren industrian berritzaile bihurtzeko dedikatzen da teknologia iteratiboen etengabeko ikerketa eta garapenaren bidez.
Produktu nagusiak hauek diraTantalo Karburozko estaldura eraztun eraztuna, TaC estalitako desbideratze eraztuna, TaC estalitako erdi ilargi zatiak, Tantalo Karburoa estalitako biraketa planetarioko diskoa (Aixtron G10), TaC estalitako arragoa; TaC estalitako eraztunak; TaC Estalitako Grafito Porotsua; Tantalo Karburoa Estaldura Grafito Susceptor; TaC Estalitako Gida Eraztuna; TaC tantalio karburo estalitako plaka; TaC estalitako ostia susceptor; TaC estaldura eraztuna; TaC Estaldura Grafito Estalkia; TaC estalitako zatiaetab., purutasuna 5ppm-tik beherakoa da, bezeroen eskakizunak bete ditzake.
TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez. Abantaila beheko irudian erakusten da:
Tanto karburoa (TaC) estaldurak arreta irabazi du 3880 °C arteko urtze-puntu altuagatik, erresistentzia mekaniko bikainagatik, gogortasunagatik eta kolpe termikoekiko erresistentziagatik, tenperatura-eskakizun handiagoak dituzten erdieroale konposatuen epitaxia prozesuetarako alternatiba erakargarria dela eta. hala nola, Aixtron MOCVD sistema eta LPE SiC epitaxia prozesua. Gainera, aplikazio zabala du PVT metodoa SiC kristalen hazkuntza prozesuan.
●Tenperaturaren egonkortasuna
●Garbitasun ultra handikoa
●H2, NH3, SiH4, Si erresistentzia
●Stock termikoarekiko erresistentzia
●Grafitoarekiko atxikimendu sendoa
●Estaldura konformatua
● Tamaina gehienez 750 mm-ko diametroa (Txinako fabrikatzaile bakarra tamaina horretara iristen da)
● Berokuntza suszeptore induktiboa
● Berogailu erresistentea
● Bero-ezkutua
TaC estalduraren propietate fisikoak | |
Dentsitatea | 14,3 (g/cm³) |
Emisio espezifikoa | 0.3 |
Dilatazio termikoaren koefizientea | 6.3 10-6/K |
Gogortasuna (HK) | 2000 HK |
Erresistentzia | 1×10-5Ohm*cm |
Egonkortasun termikoa | <2500℃ |
Grafitoaren tamaina aldatzen da | -10~-20um |
Estalduraren lodiera | ≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
Elementua | Ehuneko atomikoa | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Batez bestekoa | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Txinan Tantalum Carbide Coated Ring produktuen berritzaile profesionala eta lider gisa, VeTek erdieroaleak Tantalum Carbide Coated Ring rol ordezkaezina betetzen du SiC kristalen hazkundean, tenperatura altuko erresistentzia, higadura erresistentzia eta eroankortasun termiko bikainarekin. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinan Tantalum Carbide produktuen fabrikatzaile profesionala eta liderra da. Tantalio-karburo porotsua normalean lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) metodoaren bidez fabrikatzen da, bere poroen tamainaren eta banaketaren kontrol zehatza bermatuz, eta tenperatura altuko muturreko inguruneetara dedikatzen den tresna materiala da. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTxinan Tantalum Carbide Ring produktuen fabrikatzaile eta ekoizle aurreratu gisa, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring oso gogortasun handia, higadura erresistentzia, tenperatura altuko erresistentzia eta egonkortasun kimikoa ditu, eta oso erabilia da erdieroaleen fabrikazioan. Batez ere CVD, PVD, ioi-inplantazio-prozesuan, grabatze-prozesuan eta obleen prozesamendu eta garraioan, ezinbesteko produktua da erdieroaleen prozesatzeko eta fabrikatzeko. Zure kontsulta gehiagoren zain.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTantalum Carbide Coating Support produktuen fabrikatzaile eta fabrika profesionala Txinan, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support erabili ohi da egitura-osagaien gainazaleko estaldurarako edo ekipo erdieroaleen euskarri-osagaien gainazaleko estaldurarako, batez ere erdieroaleen fabrikazio prozesuetako funtsezko ekipamenduen gainazala babesteko. CVD eta PVD. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinan Tantalum Carbide Guide Ring produktuen fabrikatzaile profesionala eta liderra da. Gure tantalio karburoa (TaC) gida eraztuna tantalio karburoz egindako errendimendu handiko eraztun osagaia da, erdieroaleak prozesatzeko ekipoetan erabili ohi dena, batez ere tenperatura altuko eta oso korrosiboak diren inguruneetan, hala nola CVD, PVD, akuaforte eta difusioa. VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktuen soluzio aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartzen du eta zure kontsulta gehiago onartzen ditu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTxinan TaC Coating Rotation Susceptor produktuen fabrikatzaile profesional, berritzaile eta lider gisa. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor lurrun-deposizio kimikoan (CVD) eta habe molekularra epitaxia (MBE) ekipoetan instalatu ohi da obleak eusteko eta biratzeko, materialaren depositu uniformea eta erreakzio eraginkorra bermatzeko. Erdieroaleen prozesamenduan funtsezko osagaia da. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta