VeTek Semiconductor-en karburozko estaldura bereziek SiC Epitaxia Prozesuan grafitozko piezen babes handiagoa eskaintzen dute erdieroale eta erdieroale konposatuen material zorrotzak prozesatzeko. Ondorioz, grafitoaren osagaien bizitza luzatzen da, erreakzio estekiometriaren kontserbazioa, epitaxia eta kristalen hazkuntza aplikazioetarako ezpurutasunen migrazioa inhibitzea, errendimendua eta kalitatea areagotzea lortuz.
Gure tantalio karburoa (TaC) estaldurek labe eta erreaktoreen osagai kritikoak babesten dituzte tenperatura altuetan (2200 °C arte) amoniako, hidrogeno, silizio lurrunetatik eta metal urtuetatik. VeTek Semiconductor-ek grafitoa prozesatzeko eta neurtzeko gaitasun sorta zabala du zure beharrizan pertsonalizatuak betetzeko, eta, beraz, kuota ordaintzen duen estaldura edo zerbitzu osoa eskain dezakegu, gure ingeniari adituen taldea zuretzat eta zure aplikazio zehatzerako irtenbide egokia diseinatzeko prest dagoela. .
Kristal erdieroale konposatuak
VeTek Semiconductor-ek TaC estaldura bereziak eman ditzake hainbat osagai eta eramailerentzat. VeTek Semiconductor-en industria liderra den estaldura-prozesuaren bidez, TaC estaldurak garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna eta erresistentzia kimiko handia lor ditzake, horrela kristalezko TaC/GaN) eta EPl geruzen produktuen kalitatea hobetuz eta erreaktoreen osagai kritikoen iraupena luzatuz.
Isolatzaile termikoak
SiC, GaN eta AlN kristal hazteko osagaiak, arragoa, hazi-euskarriak, deflectorak eta iragazkiak barne. Berogailu-elementu erresistenteak, toberak, babes-eraztunak eta brasa-tresnak barne, GaN eta SiC epitaxial CVD erreaktoreen osagaiak barne, obleen eramaileak, satelite erretiluak, dutxa-buruak, txapelak eta idulkiak, MOCVD osagaiak barne.
LED (Argi-diodoa) Wafer Eramailea
ALD (Erdieroalea) Hargailua
EPI hartzailea (SiC epitaxia prozesua)
TaC estalitako Satelite Susceptor TaC Estaldura Susceptor&Ring TaC Estaldura piezak TaC estaldura duten Halfmoon zatiak
SiC | TaC | |
Ezaugarri nagusiak | Garbitasun ultra handikoa, Plasmaren erresistentzia bikaina | Tenperatura altuko egonkortasun bikaina (tenperatura handiko prozesuaren adostasuna) |
Garbitasuna | > %99,9999 | > %99,9999 |
Dentsitatea (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Gogortasuna (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Erresistentzia [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Eroankortasun termikoa (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hedapen termikoaren koefizientea (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikazio | Erdieroaleen ekipamendua Zeramikazko plantilla (foku eraztuna, dutxa-burua, oblea finkoa) | SiC kristal bakarreko hazkundea, Epi, UV LED Ekipamenduaren zatiak |
Txinan Tantalum Carbide Ring produktuen fabrikatzaile eta ekoizle aurreratu gisa, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring oso gogortasun handia, higadura erresistentzia, tenperatura altuko erresistentzia eta egonkortasun kimikoa ditu, eta oso erabilia da erdieroaleen fabrikazioan. Batez ere CVD, PVD, ioi-inplantazio-prozesuan, grabatze-prozesuan eta obleen prozesamendu eta garraioan, ezinbesteko produktua da erdieroaleen prozesatzeko eta fabrikatzeko. Zure kontsulta gehiagoren zain.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTantalum Carbide Coating Support produktuen fabrikatzaile eta fabrika profesionala Txinan, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support erabili ohi da egitura-osagaien gainazaleko estaldurarako edo ekipo erdieroaleen euskarri-osagaien gainazaleko estaldurarako, batez ere erdieroaleen fabrikazio prozesuetako funtsezko ekipamenduen gainazala babesteko. CVD eta PVD. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinan Tantalum Carbide Guide Ring produktuen fabrikatzaile profesionala eta liderra da. Gure tantalio karburoa (TaC) gida eraztuna tantalio karburoz egindako errendimendu handiko eraztun osagaia da, erdieroaleak prozesatzeko ekipoetan erabili ohi dena, batez ere tenperatura altuko eta oso korrosiboak diren inguruneetan, hala nola CVD, PVD, akuaforte eta difusioa. VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktuen soluzio aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartzen du eta zure kontsulta gehiago onartzen ditu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTxinan TaC Coating Rotation Susceptor produktuen fabrikatzaile profesional, berritzaile eta lider gisa. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor lurrun-deposizio kimikoan (CVD) eta habe molekularra epitaxia (MBE) ekipoetan instalatu ohi da obleak eusteko eta biratzeko, materialaren depositu uniformea eta erreakzio eraginkorra bermatzeko. Erdieroaleen prozesamenduan funtsezko osagaia da. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinan CVD TaC Coating Crucible produktuen fabrikatzaile profesionala eta liderra da. CVD TaC Coating Crucible tantalio karbonoaren (TaC) estalduran oinarritzen da. Tantalozko karbono estaldura uniformeki estaltzen da arragoaren gainazalean lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesuaren bidez, beroarekiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia hobetzeko. Bereziki tenperatura altuko muturreko inguruneetan erabiltzen den tresna materiala da. Ongi etorri zure kontsulta gehiago.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaCVD TaC Coating Wafer Carrier produktuen fabrikatzaile eta fabrika profesionala denez Txinan, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier erdieroaleen fabrikazioan tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetarako bereziki diseinatutako obleak garraiatzeko tresna da. eta CVD TaC Coating Wafer Carrier-ek erresistentzia mekaniko handia, korrosioarekiko erresistentzia bikaina eta egonkortasun termikoa ditu, kalitate handiko erdieroaleen gailuak fabrikatzeko beharrezko bermea eskaintzen duena. Zure kontsulta gehiago ongi etorriak dira.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta