VeTek Semiconductor-en karburozko estaldura bereziek SiC Epitaxia Prozesuan grafitozko piezen babes handiagoa eskaintzen dute erdieroale eta erdieroale konposatuen material zorrotzak prozesatzeko. Ondorioz, grafitoaren osagaien bizitza luzatzen da, erreakzio estekiometriaren kontserbazioa, epitaxia eta kristalen hazkuntza aplikazioetarako ezpurutasunen migrazioa inhibitzea, errendimendua eta kalitatea areagotzea lortuz.
Gure tantalio karburoa (TaC) estaldurek labe eta erreaktoreen osagai kritikoak babesten dituzte tenperatura altuetan (2200 °C arte) amoniako, hidrogeno, silizio lurrunetatik eta metal urtuetatik. VeTek Semiconductor-ek grafitoa prozesatzeko eta neurtzeko gaitasun sorta zabala du zure beharrizan pertsonalizatuak betetzeko, eta, beraz, kuota ordaintzen duen estaldura edo zerbitzu osoa eskain dezakegu, gure ingeniari adituen taldea zuretzat eta zure aplikazio zehatzerako irtenbide egokia diseinatzeko prest dagoela. .
Kristal erdieroale konposatuak
VeTek Semiconductor-ek TaC estaldura bereziak eman ditzake hainbat osagai eta eramailerentzat. VeTek Semiconductor-en industria liderra den estaldura-prozesuaren bidez, TaC estaldurak garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna eta erresistentzia kimiko handia lor ditzake, horrela kristalezko TaC/GaN) eta EPl geruzen produktuen kalitatea hobetuz eta erreaktoreen osagai kritikoen iraupena luzatuz.
Isolatzaile termikoak
SiC, GaN eta AlN kristal hazteko osagaiak, arragoa, hazi-euskarriak, deflectorak eta iragazkiak barne. Berogailu-elementu erresistenteak, toberak, babes-eraztunak eta brasa-tresnak barne, GaN eta SiC epitaxial CVD erreaktoreen osagaiak barne, obleen eramaileak, satelite erretiluak, dutxa-buruak, txapelak eta idulkiak, MOCVD osagaiak barne.
LED (Argi-diodoa) Wafer Eramailea
ALD (Erdieroalea) Hargailua
EPI hartzailea (SiC epitaxia prozesua)
TaC estalitako Satelite Susceptor TaC Estaldura Susceptor&Ring TaC Estaldura piezak TaC estaldura duten Halfmoon zatiak
SiC | TaC | |
Ezaugarri nagusiak | Garbitasun ultra handikoa, Plasmaren erresistentzia bikaina | Tenperatura altuko egonkortasun bikaina (tenperatura handiko prozesuaren adostasuna) |
Garbitasuna | > %99,9999 | > %99,9999 |
Dentsitatea (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Gogortasuna (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Erresistentzia [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Eroankortasun termikoa (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hedapen termikoaren koefizientea (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikazio | Erdieroaleen ekipamendua Zeramikazko plantilla (foku eraztuna, dutxa-burua, oblea finkoa) | SiC kristal bakarreko hazkundea, Epi, UV LED Ekipamenduaren zatiak |
VeTek Semiconductor-ek eskaintzen duen CVD TaC estaldura-estalkia aplikazio zorrotzetarako bereziki diseinatutako osagai oso espezializatua da. Ezaugarri aurreratuekin eta aparteko errendimenduarekin, gure CVD TaC estaldura-estaldurak hainbat abantaila gako eskaintzen ditu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor Aixtron epitaxia ekipoetarako aparteko produktua da. TaC estaldura sendoak tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimiko bikainak eskaintzen ditu. Konbinazio berezi honek errendimendu fidagarria eta bizitza luzea bermatzen ditu, baita ingurune zorrotzetan ere. VeTek-ek kalitate handiko produktuak eskaintzeko eta epe luzerako bazkide gisa balio du Txinako merkatuan prezio lehiakorrekin.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-en TaC Estaldura Idulkia euskarri plaka erdieroaleen epitaxia prozesuen eskakizun espezifikoak betetzeko diseinatutako doitasun handiko produktua da. TaC estaldurarekin, tenperatura altuko erresistentziarekin eta inertetasun kimikoarekin, gure produktuak kalitate handiko EPI geruzak kalitate handiko ekoizteko ahalmena ematen dizu. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta epe luzerako zure bazkide izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor-en TaC Coating Chuck-ek kalitate handiko TaC estaldura du, tenperatura altuko erresistentzia eta inertetasun kimikoagatik ezaguna, bereziki silizio karburoko (SiC) epitaxia (EPI) prozesuetan. Bere aparteko ezaugarriekin eta goi-mailako errendimenduarekin, gure TaC Coating Chuck-ek hainbat abantaila gako eskaintzen ditu. Kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu eta epe luzerako zure bazkide izatea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaLPE SiC Epi Halfmoon VeTek Semiconductor-ek, LPE erreaktorearen SiC epitaxia prozesuak igotzeko diseinatutako produktu iraultzailea. Punta-puntako irtenbide honek zure fabrikazio-eragiketetan errendimendu eta eraginkortasun handiagoa bermatzen duten hainbat ezaugarri nagusi ditu. Zurekin epe luzerako lankidetza ezartzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinan fabrikatzaile eta hornitzaile nagusia da Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon-en, I + G eta ekoizpenean espezializatuta gaude, kalitatea ondo kontrolatu dezakegu eta prezio lehiakorra eskaintzen dugu. Ongi etorri gure fabrika bisitatzera epe luzeko lankidetzari buruzko eztabaida gehiago izateko.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta