VeTek Semiconductor-en karburozko estaldura bereziek SiC Epitaxia Prozesuan grafitozko piezen babes handiagoa eskaintzen dute erdieroale eta erdieroale konposatuen material zorrotzak prozesatzeko. Ondorioz, grafitoaren osagaien bizitza luzatzen da, erreakzio estekiometriaren kontserbazioa, epitaxia eta kristalen hazkuntza aplikazioetarako ezpurutasunen migrazioa inhibitzea, errendimendua eta kalitatea areagotzea lortuz.
Gure tantalio karburoa (TaC) estaldurek labe eta erreaktoreen osagai kritikoak babesten dituzte tenperatura altuetan (2200 °C arte) amoniako, hidrogeno, silizio lurrunetatik eta metal urtuetatik. VeTek Semiconductor-ek grafitoa prozesatzeko eta neurtzeko gaitasun sorta zabala du zure beharrizan pertsonalizatuak betetzeko, eta, beraz, kuota ordaintzen duen estaldura edo zerbitzu osoa eskain dezakegu, gure ingeniari adituen taldea zuretzat eta zure aplikazio zehatzerako irtenbide egokia diseinatzeko prest dagoela. .
Kristal erdieroale konposatuak
VeTek Semiconductor-ek TaC estaldura bereziak eman ditzake hainbat osagai eta eramailerentzat. VeTek Semiconductor-en industria liderra den estaldura-prozesuaren bidez, TaC estaldurak garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna eta erresistentzia kimiko handia lor ditzake, horrela kristalezko TaC/GaN) eta EPl geruzen produktuen kalitatea hobetuz eta erreaktoreen osagai kritikoen iraupena luzatuz.
Isolatzaile termikoak
SiC, GaN eta AlN kristal hazteko osagaiak, arragoa, hazi-euskarriak, deflectorak eta iragazkiak barne. Berogailu-elementu erresistenteak, toberak, babes-eraztunak eta brasa-tresnak barne, GaN eta SiC epitaxial CVD erreaktoreen osagaiak barne, obleen eramaileak, satelite erretiluak, dutxa-buruak, txapelak eta idulkiak, MOCVD osagaiak barne.
LED (Argi-diodoa) Wafer Eramailea
ALD (Erdieroalea) Hargailua
EPI hartzailea (SiC epitaxia prozesua)
TaC estalitako Satelite Susceptor TaC Estaldura Susceptor&Ring TaC Estaldura piezak TaC estaldura duten Halfmoon zatiak
SiC | TaC | |
Ezaugarri nagusiak | Garbitasun ultra handikoa, Plasmaren erresistentzia bikaina | Tenperatura altuko egonkortasun bikaina (tenperatura handiko prozesuaren adostasuna) |
Garbitasuna | > %99,9999 | > %99,9999 |
Dentsitatea (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Gogortasuna (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Erresistentzia [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Eroankortasun termikoa (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hedapen termikoaren koefizientea (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikazio | Erdieroaleen ekipamendua Zeramikazko plantilla (foku eraztuna, dutxa-burua, oblea finkoa) | SiC kristal bakarreko hazkundea, Epi, UV LED Ekipamenduaren zatiak |
VeTek Semiconductor eskala handiko tantalio karburoa estalitako Halfmoon pieza bat da Txinan LPE fabrikatzaile eta berritzailearentzat. Urte askotan TaC estalduran espezializatu gara. Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzeko.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor Txinako tantaliozko karburo estalitako biraketa planetarioko diskoen fabrikatzaile eta berritzaile nagusia da. Urte askotan zeramikazko estalduran espezializatuta gaude. Txina.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta