VeTek semieroale erdieroaleen industriarako tantalio karburoko estaldura materialen fabrikatzaile nagusia da. Gure produktuen eskaintza nagusiak CVD tantalio karburoaren estalduraren piezak, SiC kristalen hazkuntzarako TaC estaldura sinterizaturako piezak edo erdieroaleen epitaxia prozesurako daude. ISO9001 gaindituta, VeTek Semiconductor-ek kalitatearen kontrol ona du. VeTek Semiconductor tantalio karburoaren estalduraren industrian berritzaile bihurtzeko dedikatzen da teknologia iteratiboen etengabeko ikerketa eta garapenaren bidez.
Produktu nagusiak hauek diraTantalo Karburozko estaldura eraztun eraztuna, TaC estalitako desbideratze eraztuna, TaC estalitako erdi ilargi zatiak, Tantalo Karburoa estalitako biraketa planetarioko diskoa (Aixtron G10), TaC estalitako arragoa; TaC estalitako eraztunak; TaC Estalitako Grafito Porotsua; Tantalo Karburoa Estaldura Grafito Susceptor; TaC Estalitako Gida Eraztuna; TaC tantalio karburo estalitako plaka; TaC estalitako ostia susceptor; TaC estaldura eraztuna; TaC Estaldura Grafito Estalkia; TaC estalitako zatiaetab., purutasuna 5ppm-tik beherakoa da, bezeroen eskakizunak bete ditzake.
TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez. Abantaila beheko irudian erakusten da:
Tanto karburoa (TaC) estaldurak arreta irabazi du 3880 °C arteko urtze-puntu altuagatik, erresistentzia mekaniko bikainagatik, gogortasunagatik eta kolpe termikoekiko erresistentziagatik, tenperatura-eskakizun handiagoak dituzten erdieroale konposatuen epitaxia prozesuetarako alternatiba erakargarria dela eta. hala nola, Aixtron MOCVD sistema eta LPE SiC epitaxia prozesua. Gainera, aplikazio zabala du PVT metodoa SiC kristalen hazkuntza prozesuan.
●Tenperaturaren egonkortasuna
●Garbitasun ultra handikoa
●H2, NH3, SiH4, Si erresistentzia
●Stock termikoarekiko erresistentzia
●Grafitoarekiko atxikimendu sendoa
●Estaldura konformatua
● Tamaina gehienez 750 mm-ko diametroa (Txinako fabrikatzaile bakarra tamaina horretara iristen da)
● Berokuntza suszeptore induktiboa
● Berogailu erresistentea
● Bero-ezkutua
TaC estalduraren propietate fisikoak | |
Dentsitatea | 14,3 (g/cm³) |
Emisio espezifikoa | 0.3 |
Dilatazio termikoaren koefizientea | 6.3 10-6/K |
Gogortasuna (HK) | 2000 HK |
Erresistentzia | 1×10-5Ohm*cm |
Egonkortasun termikoa | <2500℃ |
Grafitoaren tamaina aldatzen da | -10~-20um |
Estalduraren lodiera | ≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
Elementua | Ehuneko atomikoa | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Batez bestekoa | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |