VEECO MOCVD Berogailua

VeTeksemi-ren VEECO MOCVD berogailua purutasun handiko grafitozko materialaz egina dago, 5 ppm-tik beherako ezpurutasun-edukia zorrozki kontrolatzen duena, eta purutasun ultra-altuko silizio-karburoarekin (SiC) estalita, %99,99995 baino gehiagoko garbitasunarekin.lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua. Materialen konbinazio honek berogailuari errendimendu bikaina bermatzen dioten funtsezko propietate batzuk ematen dizkiometal organiko kimiko lurrun-deposizioa (MOCVD)prozesua.

VEECO MOCVD berogailuaren ezaugarri nabarmenetako bat bere aparteko purutasun kimikoa da. Garbitasun handiko grafitoaren nukleoak tenperatura altuko prozesuan kutsatzaileen sarrera potentziala asko murrizten du, film ultra-garbia deposizio-prozesua bermatuz. TheCVD SiC estaldurababes gehigarria eskaintzen dio berogailuari, filmaren kalitatea kaltetu dezaketen erreakzio kimikoak saihesteko oztopo sendo bat osatuz. Garbitasun paregabe hori ezinbestekoa da errendimendu handiko gailu erdieroale fidagarriak fabrikatzeko.

Aldi berean, berogailuak egonkortasun eta eraginkortasun termiko oso altua erakusten du. SiC-k urtze-puntu altua eta eroankortasun termiko bikaina ditu, berogailuak beroa modu eraginkorrean kudeatu eta eroateko aukera emanez. Honek substratu osoan beroketa uniformea ​​bermatzen du, eta horrek filmaren deposizio uniformea ​​lortzen laguntzen du eta gradiente termikoek eragindako akatsak murrizten laguntzen du. Eraginkortasun termiko hori bereziki garrantzitsua da doitasunezko fabrikaziorako.

VEECO MOCVD berogailuak errendimendu elektrikoan ere bikaina da. Garbitasun handiko grafitoaren nukleoak eroankortasun elektriko bikaina du, berogailuak karga elektrikoaren eskakizun handiak kudeatzeko aukera ematen diona. Errendimendu elektriko egonkor horri esker, berogailuak tenperatura kontrol zehatza eta deposizio-tasa mantentzea ahalbidetzen du karga-baldintza handietan, eta hori funtsezkoa da prozesu-baldintza koherenteak bermatzeko eta erdieroaleen fabrikazio-eraginkortasuna hobetzeko.

Berogailuaren gainazaleko diseinua arretaz optimizatu da substratuaren emisibitate handia izateko, eta horrek nabarmen hobetzen du bero erradiatiboaren transferentziaren eraginkortasuna. Era berean berotzeko gaitasuna funtsezko faktorea da filmaren jalkitze-lodiera eta ezaugarri koherenteak bermatzeko. Emisio handiko gainazaleko diseinuak berogailuaren eraginkortasun termiko orokorra hobetzen du, horrela energia-kontsumoa murrizten du eta funtzionamendu-kostuak murrizten ditu.

Iraunkortasunari dagokionez, VeTeksemi-ren VEECO MOCVD berogailuak korrosioarekiko erresistentzia, oxidazioarekiko erresistentzia eta erresistentzia mekaniko bikainak ditu. CVD SiC estaldurak hesi sendo bat eskaintzen die MOCVD prozesuetan ohikoak diren gas korrosibo eta produktu kimikoei, eta, ondorioz, ekipoaren bizitza luzatzen du eta mantentze-beharrak eta ordezkapen-kostuak murrizten ditu. Oxidazio-erresistentziari esker, berogailuak tenperatura altuetan egonkor mantentzea bermatzen du, errendimendua hondatu gabe, epe luzerako egonkortasuna bermatuz.

Gainera, VeTeksemi-ren MOCVD berogailuaren erresistentzia mekaniko handiak ziklo termikoan eta substratuaren manipulazioan sortutako tentsio fisikoei aurre egiteko aukera ematen du. Bere sendotasunak huts mekanikoaren arriskua murrizten du eta ekipoaren funtzionamendu fidagarria bermatzen du prozesu baldintza gogorretan.

VEECO MOCVD berogailu produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile aurreratu gisa, VeTeksemi-k kalitate handiko berogailu produktu ugari eskaintzen ditu, hala nolaTaC Estaldura Berogailua, silizio karburoa zeramikazko estaldura grafitoa berogailua, silizio karburoa zeramikazko estaldura berogailua, etab. VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktu irtenbide aurreratuak eta pertsonalizagarriak eskaintzeko konpromisoa hartu du. Zinez espero dugu zure epe luzerako bazkide izatea Txinan.