VeTek Semiconductor zure bazkide berritzailea da erdieroaleen prozesamenduaren arloan. Erdieroale-mailako Silizio Karburo Zeramikazko materialen konbinazioen, osagaien fabrikazio-gaitasunen eta aplikazioen ingeniaritza-zerbitzuen zorro zabalarekin, erronka garrantzitsuak gainditzen lagunduko dizugu. Ingeniaritza teknikoa Silizio-karburoaren zeramika erdieroaleen industrian oso aplikatzen da materialaren errendimendu aparta dela eta. VeTek Semiconductor-en Silizio Karburo Zeramika ultrapurua maiz erabiltzen da erdieroaleen fabrikazio eta prozesatzeko ziklo osoan.
VeTek Semiconductor-ek loteen difusiorako eta LPCVD eskakizunetarako bereziki diseinatutako zeramikazko osagaiak eskaintzen ditu, besteak beste:
• Baffles eta euskarria
• Injektoreak
• Atorrak eta prozesu-hodiak
• Siliziozko karburoko palanak
• Ostia-ontziak eta idulkiak
SiC Cantilever Pala SiC Prozesuen Hodiak Silizio Karburoaren Prozesatzeko Hodia SiC ostia bertikala SiC ostia horizontala SiC horizontalak quare ostia ontzia SiC LPCVD ostia-ontzia SiC plaka horizontaleko itsasontzia SiC ostia biribila
Minimizatu kutsadura eta programatu gabeko mantentze-lanak plasma bidezko grabaketaren zorroztasunerako diseinatutako purutasun handiko osagaiekin, besteak beste:
Foku eraztunak
Toberak
Ezkutuak
Dutxak
Leihoak / Tapak
Beste osagai pertsonalizatu batzuk
VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industrian tenperatura altuko prozesatze termikoko aplikazioetarako egokitutako material aurreratuak eskaintzen ditu. Aplikazio hauek RTP, Epi prozesuak, difusioa, oxidazioa eta annealing biltzen dituzte. Gure zeramika teknikoak kolpe termikoak jasateko diseinatuta daude, errendimendu fidagarria eta koherentea eskainiz. VeTek Semiconductor-en osagaiekin, erdieroaleen fabrikatzaileek prozesaketa termiko eraginkorra eta kalitate handikoa lor dezakete, erdieroaleen ekoizpenaren arrakasta orokorrari lagunduz.
• Difusoreak
• Isolatzaileak
• Suszeptoreak
• Beste osagai termiko pertsonalizatuak
Silizio Karburo Birkristalizatuaren propietate fisikoak | |
Jabetza | Balio Tipikoa |
Laneko tenperatura (°C) | 1600 °C (oxigenoarekin), 1700 °C (ingurune murriztea) |
SiC / SiC edukia | > %99,96 |
Si / Doako Si edukia | <% 0,1 |
Solte-dentsitatea | 2,60-2,70 g/cm3 |
Itxurazko porositatea | <% 16 |
Konpresioaren indarra | > 600 MPa |
Hotzean makurtzeko indarra | 80-90 MPa (20 °C) |
Makurtze-indarra beroa | 90-100 MPa (1400 °C) |
Hedapen termikoa @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Eroankortasun termikoa @1200°C | 23 W/m•K |
Modulu elastikoa | 240 GPa |
Shock termikoen erresistentzia | Oso ona |
VeTek Semiconductor-en purutasun handiko siliziozko karburoko ontzia siliziozko karburozko material oso puruz egina dago, egonkortasun termiko, indar mekaniko eta erresistentzia kimiko bikainarekin. Garbitasun handiko silizio-karburoko ontzia-ontzia erdieroaleen fabrikazioko gune beroko aplikazioetan erabiltzen da, batez ere tenperatura altuko inguruneetan, eta zeregin garrantzitsua du obleak babesteko, materialak garraiatzeko eta prozesu egonkorrak mantentzeko. VeTek Semiconductor-ek gogor lan egiten jarraituko du purutasun handiko Silizio Karburoko Wafer Boat berritzeko eta hobetzeko, erdieroaleen fabrikazioaren behar ebolutiboei erantzuteko. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaVeTek Semiconductor fabrikatzaile eta hornitzaile profesionala da, kristalezko hazkuntzarako siliziozko karburo ultra purua kalitate handiko hautsa eskaintzera bideratuta. % 99,999 pisurainoko purutasunarekin eta nitrogeno, boro, aluminio eta beste kutsatzaile batzuen ezpurutasun maila oso baxuarekin, silizio karburoaren purutasun handiko propietate erdi isolatzaileak hobetzeko diseinatuta dago bereziki. Ongi etorri gurekin galdetzera eta lankidetzan jartzera!
Irakurri gehiagoBidali kontsulta