EPI hartzailea

VeTek Semiconductor-en EPI susceptor epitaxial-ekipamenduen aplikazio zorrotzetarako diseinatuta dago. Bere purutasun handiko silizio-karburoa (SiC) estalitako grafito-egiturak bero-erresistentzia bikaina, uniformetasun termiko uniformea eskaintzen du geruza epitaxialaren lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko eta iraupen luzeko erresistentzia kimikoa. Espero dugu zurekin lankidetzan aritzea.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

VeTek Semiconductor Txinako EPI hargailu, ALD Planetary Receiver eta TaC Coated Graphite Receiver fabrikatzaile liderra da. eta gure EPI susceptor osagai garrantzitsu bat dahazkunde epitaxialaErdieroaleen fabrikazio prozesuan. Bere funtzio nagusia obleari eustea eta berotzea da, oblearen gainazalean kalitate handiko geruza epitaxiala uniformeki hazi ahal izateko.

VeTek Semiconductors-en EPI suszeptoreak purutasun handiko grafitoz eginak izan ohi dira eta siliziozko karburozko (SiC) geruza batez estalita daude.Diseinu honek honako abantaila nagusi hauek ditu:

● Tenperatura handiko egonkortasuna: EPI suszeptorea egonkor egon daiteke tenperatura altuko ingurune batean, geruza epitaxialaren hazkuntza uniformea bermatuz.

● Korrosioarekiko erresistentzia: SiC estaldurak korrosioarekiko erresistentzia bikaina du eta gas kimikoen higadurari aurre egin diezaioke, erretiluaren bizitza luzatuz.

● Eroankortasun termikoa: SiC materialaren eroankortasun termiko handiak oblearen tenperatura banaketa uniformea bermatzen du berotzean, eta, horrela, geruza epitaxialaren kalitatea hobetzen du.

● Dilatazio termikoaren koefizientearen parekatzea: SiC-ren hedapen termikoaren koefizientea grafitoaren antzekoa da, dilatazio eta uzkurdura termikoaren ondorioz estaldura isurtzearen arazoa saihestuz.