SiC estalitako grafitozko barril susceptor EPIrako

VeTek Semiconductor Txinako fabrikatzailea eta hornitzailea da, batez ere SiC estalitako grafitozko upel suszeptorea EPIrako, urte askotako esperientziarekin. Espero dut zurekin negozio-harremana eraikitzea. EPI (Epitaxia) erdieroale aurreratuen fabrikazioan prozesu kritikoa da. Material geruza meheak substratu batean jalkitzea dakar gailuen egitura konplexuak sortzeko. EPIrako SiC estalitako grafitozko upel suszeptoreak EPI erreaktoreetan susceptor gisa erabiltzen dira, eroankortasun termiko bikainagatik eta tenperatura altuekiko erresistentziagatik. CVD-SiC estaldurarekin, kutsadura, higadura eta shock termikoarekiko erresistenteagoa bihurtzen da. Horren ondorioz, suszeptorearen bizitza luzeagoa da eta filmaren kalitatea hobetzen da.

Gure SiC estalitako grafito-bidoiaren susceptoraren abantailak:

Kutsadura murriztua: SiC-ren izaera geldoak ezpurutasunak gainazal suszeptoreari atxikitzea eragozten du, metatutako filmak kutsatzeko arriskua murriztuz.

Higadura-erresistentzia areagotua: SiC grafito konbentzionalak baino higadurari erresistenteagoa da, eta susceptorentzako bizi-iraupen luzeagoa da.

Egonkortasun termiko hobetua: SiC-k eroankortasun termiko bikaina du eta tenperatura altuak jasan ditzake distortsio handirik gabe.

Filmaren kalitatea hobetua: egonkortasun termiko hobeak eta kutsadura murrizteak kalitate handiagoko filmak lortzen ditu, uniformetasun eta lodiera kontrol hobearekin.

Aplikazioak:

SiC estalitako grafitozko upel suszeptoreak EPIren hainbat aplikaziotan erabiltzen dira, besteak beste:

GaN oinarritutako LEDak

Potentzia elektronika

Gailu optoelektronikoak

Maiztasun handiko transistoreak

Sentsoreak

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor produktuaren parametroa

Oharra: Estali aurretik, lehen arazketa egingo dugu, estaldura ondoren, bigarren arazketa egingo dugu.

VeTek Erdieroaleen Ekoizpen Denda