Alumina Zeramikazko Hutseko Chuck

Alumina Ceramic Vacuum Chuck erdieroaleen prozesamenduko prozesu epitaxialetarako obleen euskarria da. Obleak egonkortzeko eta geruza epitaxialen hazkunde uniformea ​​bermatzeko funtsezko tresna da. Askotan erabiltzen da epitaxial ekipoetanMOCVDetaLPCVD.

VeTek SemiconductorAlumina Zeramika Hutseko Chuck-ek ezinbestekoa du erdieroaleen fabrikazioko obleak mehetzeko eta artezteko etapetan. Etapa hauek lodiera zehatz murriztea dakarobleen substratuatxiparen beroaren xahupena hobetzeko, ezinbestekoa den gailu erdieroaleen eraginkortasuna eta bizitza hobetzeko.

Wafer tamaina anitzekin bateragarria: VeTek Semiconductor Alumina Zeramika Hutseko Chuck obleen tamaina askotariko onartzeko diseinatuta dago, 2, 3, 4, 5, 6, 8 eta 12 hazbetekoak barne. Egokigarritasun honek erdieroaleen ekoizpen-ingurune ezberdinetarako egokia egiten du, obleen tamaina desberdinetan errendimendu koherentea eta fidagarria bermatuz.

Goi Mailako Material Konposizioa: Alumina Zeramikazko Hutseko Chuck-aren oinarria % 99,9999 Alumina (Al) ultra puruz egina dago.₂O₃), eraso kimikoarekiko eta egonkortasun termikoarekiko erresistentzia bikaina eskaintzen duena. Chuck gainazala porotsuz egina dagosilizio karburoa (SiC). Zeramikazko material porotsuak egitura trinko eta uniformea ​​du, eta horrek iraunkortasuna eta errendimendua hobetzen ditu.

-ren onurakZeramika Porotsuen Teknologia：

Materialaren garbitasuna eta iraunkortasuna: % 99,99 Alumina puruz egina, gure Alumina Zeramikazko Hutseko Chuck-ek eraso kimikoei aurre egiten die eta egonkortasun termiko bikaina eskaintzen du, fabrikazio-ingurune oso zorrotzetarako aproposa da.

Porositate optimoa eta airearen iragazkortasuna: uniformeki banatutako mikroporoek airearen iragazkortasun bikaina eta adsortzio-indar uniformea ​​eskaintzen dute, funtzionamendu leuna eta koherentea lortzen dute.

Lautasuna eta paralelismoa hobetua: Alumina Zeramikazko Hutseko Chucks mikroporosoak lautasun eta paralelismo bikainak dituzte, obleen manipulazio zehatza eta egonkortasuna bermatuz.

Pertsonalizatutako Zerbitzu-gaitasunak: VeTekSemi-k hainbat forma pertsonalizagarriak eman ditzake, biribilak, karratuak, eraztunak eta bestelako diseinuak barne, 3MM eta 10MM arteko lodierarekin. Pertsonalizazio honek bermatzen du gure alumina zeramikazko hutseko zorroak erdieroaleen fabrikazio prozesu desberdinen behar espezifikoak betetzen dituela eta zure aukera ezin hobea direla.

VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktuen irtenbide aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartu du, eta zinez espero dugu epe luzerako zure bazkide izatea Txinan.

TheFormula kimikoaalumina zeramika：

VeTek SemiconductorAlumina Zeramikazko Hutseko Chuck dendak: