VeTek Semiconductor Txinako tantaliozko karburo estalitako Chuck fabrikatzaile eta berritzaile nagusi bat da. Urte askotan TaC estalduran espezializatuta gaude. Gure produktuek garbitasun handia eta tenperatura altuko erresistentzia dute 2000 ℃ arte. Zure epe luzerako bilakatzea espero dugu. bazkide Txinan.
VeTek Semiconductor-ek kalitate handiko tantaliozko karburo estalitako Chuck hornitzen du, SiC estaldurako piezak prezio lehiakorrean. Ongi etorri gurekin kontsultara. Osagarri honek eraginkortasuna eta kalitatea hobetzen ditu erdieroaleen fabrikazioan, errendimendu eta fidagarritasun bikainak eskainiz.
Kalitate handiko materialekin egina eta zehaztasun handiz fabrikatua, mandrinak CVD tantalio karburoz (TaC) estalitako grafitozko substratu bat dauka. Estaldura honek egonkortasun termiko bikaina, purutasun handia eta tenperatura altuekiko erresistentzia eskaintzen ditu. MOCVD prozesuen baldintza zorrotzetan errendimendu fidagarria bermatzen du.
Chuck pertsonalizagarria da erdieroaleen obleen tamaina desberdinetarako, ekoizpen-eskakizun ezberdinetarako egokia da. Bere eraikuntza sendoak obleen eramaileekin eta susceptorrekin lotutako geldiune-denbora eta mantentze-kostuak murrizten ditu.
VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck-ekin, AIXTRON G10 MOCVD sistemak eraginkortasun handiagoa eta emaitza bikainak lortzen ditu erdieroaleen fabrikazioan. Bere egonkortasun termiko paregabeak, obleen tamaina ezberdinekin bateragarriak eta errendimendu fidagarriak ezinbesteko tresna bihurtzen dute ekoizpenaren eraginkortasuna optimizatzeko eta MOCVD ingurune zailean emaitza bikainak lortzeko.
TaC estalduraren propietate fisikoak | |
Dentsitatea | 14,3 (g/cm³) |
Emisio espezifikoa | 0.3 |
Dilatazio termikoaren koefizientea | 6,3 10-6/K |
Gogortasuna (HK) | 2000 HK |
Erresistentzia | 1×10-5 Ohm*cm |
Egonkortasun termikoa | <2500℃ |
Grafitoaren tamaina aldatzen da | -10~-20um |
Estalduraren lodiera | ≥20um balio tipikoa (35um±10um) |