TaC Estaldura Gida Eraztunak

Txinan TaC Coating Guide Rings produktuen fabrikatzaile nagusi gisa, VeTek Semiconductor TaC estalitako gida-eraztunak osagai garrantzitsuak dira MOCVD ekipoetan, epitaxial hazkundean gas-emate zehatza eta egonkorra bermatuz, eta ezinbesteko materiala dira erdieroaleen hazkunde epitaxialean. Ongi etorri gurekin kontsultatzera.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

TaC estaldura gida-eraztunen funtzioa:

Gas-fluxuaren kontrol zehatza: TheTaC Estaldura Gida Eraztunaestrategikoki kokatuta dago gasaren injekzio sistemaren barruanMOCVD erreaktorea. bere eginkizun nagusia gas aitzindarien fluxua zuzentzea eta haien banaketa uniformea bermatzea da substratuko obleen gainazalean. Gas-fluxuaren dinamikaren gaineko kontrol zehatz hori ezinbestekoa da geruza epitaxialeko hazkuntza uniformea eta material nahi diren propietateak lortzeko.

Kudeaketa Termikoa: TaC Estalduraren Gida Eraztunek tenperatura altuetan funtzionatzen dute maiz, berotutako susceptor eta substratutik gertu daudelako. TaC-en eroankortasun termiko bikainak beroa modu eraginkorrean xahutzen laguntzen du, tokiko gainberotzea ekiditen du eta erreakzio-eremuan tenperatura-profil egonkorra mantentzen du.

TaCren abantailak MOCVDn:

Muturreko Tenperatura Erresistentzia: TaC material guztien arteko fusio-puntu handienetakoa da, 3800 °C gainditzen duena.

Inertetasun kimiko nabarmena: TaC-k MOCVD-n erabiltzen diren gas aitzindari erreaktiboen korrosioarekiko eta eraso kimikoarekiko erresistentzia paregabea erakusten du, hala nola amoniakoa, silanoa eta hainbat konposatu metal-organiko.

-ren propietate fisikoakTaC estaldura:

-ren propietate fisikoakTaC estaldura
Dentsitatea	14,3 (g/cm³)
Emisio espezifikoa	0.3
Dilatazio termikoaren koefizientea	6,3*10^-6/K
Gogortasuna (HK)	2000 HK
Erresistentzia	1×10^-5Ohm*cm
Egonkortasun termikoa	<2500℃
Grafitoaren tamaina aldatzen da	-10~-20um
Estalduraren lodiera	≥20um balio tipikoa (35um±10um)

MOCVD Performance-rako onurak:

VeTek erdieroale TaC Coating Guide Ring erabiltzea MOCVD ekipoetan nabarmen laguntzen du:

Ekipoen funtzionamendu-denbora handitu: TaC Coating Guide Ring-en iraunkortasunak eta iraupen luzeak ordezkapen maiz egiteko beharra murrizten du, mantentze-lanak gutxituz eta MOCVD sistemaren eraginkortasun operatiboa maximizatuz.

Prozesuaren Egonkortasuna Hobetua: TaC-ren egonkortasun termikoak eta inertetasun kimikoak erreakzio-ingurune egonkorrago eta kontrolatuago batera laguntzen dute MOCVD ganberan, prozesuen aldakuntzak gutxituz eta erreproduzigarritasuna hobetuz.

Geruza epitaxialaren uniformetasuna hobetua: TaC estaldura gida-eraztunek errazten duten gas-fluxuaren kontrol zehatzak aitzindarien banaketa uniformea bermatzen du, oso uniformea dela eta.geruza epitaxialeko hazkundealodiera eta konposizio koherentearekin.

Tantalo karburoa (TaC) estalduraebakidura mikroskopiko batean:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Hot Tags: TaC estalduraren gida-eraztunak, fabrikatzailea, hornitzailea, TaC estaldura-eraztuna MOCVDrako, pertsonalizatua, TaC estaldura-eraztunaren gida, iraunkorra, Txinan egina

Produktuen etiketa

Lotutako Kategoria