TaC estalitako obleen susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor tantalio karburoz estalitako grafitozko erretilu bat da, silizio karburo epitaxialeko hazkunderako obleen kalitatea eta errendimendua hobetzeko. VeTek estaldura-teknologia aurreratuagatik eta soluzio iraunkorrengatik aukeratzen da SiC epitaxia emaitza bikainak eta susceptor-bizitza luzatzea bermatzeko, ongi etorri zure kontsulta gehiago.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

VeTek Semiconductor TaC estalitako obleen suszeptorea erabiltzen den funtsezko osagaia daMetal-Organiko Kimiko Lurrun Deposizioa (MOCVD)erreaktoreentzaterdieroale epitaxial (epi) prozesu. Oinarri biribil espezializatu hau kalitate handiko grafitoz egina dago eta tantalio karburozko (TaC) geruza batez estalita dago, ezaugarri termiko eta kimiko bikainengatik ezaguna dena.

TaC estalduraren funtzio nagusia obleen susceptoraren errendimendua eta iraunkortasuna hobetzea da erdieroaleen fabrikazioaren baldintza gogorretan. Tantalio-karburoa bere gogortasunagatik, urtze-puntu altuagatik eta higadura-erresistentzia bikainagatik ezaguna da, babes-geruza ezin hobea da. Estaldura honek azpian dagoen grafitoaren oinarria babesten du barruan gertatzen diren erreakzio kimiko korrosiboetatik eta tentsio mekanikoetatik.MOCVD erreaktoreak, ekipoaren bizitza luzatuz eta fidagarritasuna hobetuz.

Material erdieroaleen hazkuntza epitaxialean zehar, TaC estalitako obleen suszeptoreak ezinbesteko papera betetzen du filmaren deposizio zehatza bermatuz. Tenperatura altuen eta ingurune kimiko gogorren aurrean duen erresistentzia funtsezkoa da gailu erdieroaleen ekoizpen zehatza lortzeko, ekipoak prozesu baldintza zorrotzetan egonkor funtziona dezan.

A-ren konbinazioagrafito nukleoaetaTaC estalduraBeroaren banaketa uniformea bermatzen du suszeptorean zehar, eta hori ezinbestekoa da MOCVD prozesuan hazitako erdieroaleen errepikakortasuna eta kalitatea hobetzeko. Materialen diseinu aurreratu honek iraunkortasuna eskaintzeaz gain, errendimendu handiko osagai elektronikoen erdieroaleen fabrikazio modernoaren eskakizun zorrotzak betetzen ditu.

TaC estalitako obleen suszeptoreen hornitzaile eta fabrikatzaile nagusi gisa, VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako kalitate handiko irtenbide teknikoak emateko konpromisoa hartu du. Espero dugu zure epe luzerako konfiantzazko bazkide bihurtzea Txinan, produktu fidagarriak eta pertsonalizatuak eskainiz.

VeTek Semiconductor TaC estalitako obleen susceptor dendak:

TaC coated wafer susceptor shops