CVD TaC Estaldura Eramailea

VeTek Semiconductor-ren CVD TaC Estaldura eramailea erdieroaleen fabrikazio prozesu epitaxialerako diseinatuta dago batez ere. CVD TaC Coating-eko eramailearen urtze-puntu ultra-altuak, korrosioarekiko erresistentzia bikainak eta egonkortasun termiko bikainak produktu honen ezinbestekotasuna zehazten dute erdieroaleen prozesu epitaxialean. Zinez espero dugu zurekin epe luzerako negozio-harremana sortzea.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

VeTek Semiconductor Txinako CVD TaC estaldura eramaile profesional liderra da, EPITAXY SUSCEPTORE,TaC estalitako grafito hargailuafabrikatzailea.

Prozesu etengabeko eta materialen berrikuntzako ikerketaren bidez, Vetek Semiconductor-en CVD TaC estaldura-eramaileak oso paper garrantzitsua betetzen du prozesu epitaxialean, batez ere alderdi hauek barne:

Substratuaren babesa: CVD TaC estaldura-eramaileak egonkortasun kimiko eta egonkortasun termiko bikainak eskaintzen ditu, tenperatura altuak eta gas korrosiboak substratua eta erreaktorearen barruko horma higatzea eragozten du, prozesu-ingurunearen garbitasuna eta egonkortasuna bermatuz.

Uniformetasun termikoa: CVD TaC estaldura-eramailearen eroankortasun termiko handiarekin konbinatuta, erreaktorearen barruan tenperatura-banaketaren uniformetasuna bermatzen du, geruza epitaxialaren kristalen kalitatea eta lodiera-uniformitatea optimizatzen ditu eta azken produktuaren errendimendu-koherentzia hobetzen du.

Partikulen kutsadura kontrola: CVD TaC estalitako eramaileek partikulen sorrera-tasa oso baxuak dituztenez, gainazal leuneko propietateek nabarmen murrizten dute partikulak kutsatzeko arriskua, eta horrela garbitasuna eta etekina hobetzen dituzte hazkunde epitaxialean zehar.

Ekipoen bizitza luzatu: CVD TaC estaldura-eramailearen higadura-erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia bikainarekin konbinatuta, erreakzio-ganberaren osagaien bizitza nabarmen luzatzen du, ekipoen geldialdi-denbora eta mantentze-kostuak murrizten ditu eta ekoizpen-eraginkortasuna hobetzen du.

Goiko ezaugarriak konbinatuz, VeTek Semiconductor-ren CVD TaC Coating eramaileak prozesuaren fidagarritasuna eta produktuaren kalitatea hazkuntza epitaxialeko prozesuan hobetzeaz gain, erdieroaleen fabrikaziorako irtenbide errentagarria ere eskaintzen du.

Tantalo-karburozko estaldura zeharkako sekzio mikroskopiko batean:

Tantalum carbide coating on a microscopic cross section picture

CVD TaC Coating Carrier-en propietate fisikoak:

TaC estalduraren propietate fisikoak
Dentsitatea	14,3 (g/cm³)
Emisio espezifikoa	0.3
Dilatazio termikoaren koefizientea	6,3*10^-6/K
Gogortasuna (HK)	2000 HK
Erresistentzia	1×10^-5Ohm*cm
Egonkortasun termikoa	<2500℃
Grafitoaren tamaina aldatzen da	-10~-20um
Estalduraren lodiera	≥20um balio tipikoa (35um±10um)