Aixtron G5 MOCVD Susceptors

VeTek Semiconductor Txinako Aixtron G5 MOCVD Susceptors fabrikatzaile eta berritzaile liderra da. Urte asko daramatzagu SiC estaldura-materialean espezializatuta. Aixtron G5 MOCVD Susceptors bat eskaintzen dugu Aixtron G5 MOCVD erreaktorearentzat bereziki diseinatuta. Aixtron G5 MOCVD Susceptors kit hau erdieroaleen fabrikaziorako soluzio polifazetikoa eta eraginkorra da, bere tamaina, bateragarritasun eta produktibitate handiarekin. Ongi etorri gurekin kontsultara.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Fabrikatzaile profesionala den heinean, VeTek Semiconductor-ek Aixtron G5 MOCVD Susceptors eman nahiko lituzke SiC estalitako grafitozko piezak, TaC estalitako grafitozko piezak, SiC/CVD SiC solidoa, kuartzozko piezak. Ongi etorri gurekin kontsultatzera.

Aixtron G5 erdieroale konposatuen deposizio-sistema bat da. AIX G5 MOCVD-k produktu-bezeroen frogatutako AIXTRON erreaktore planetario plataforma erabiltzen du kartutxo guztiz automatizatua (C2C) obleen transferentzia-sistema batekin. Industriako barrunbe bakarreko tamaina handiena (8 x 6 hazbete) eta ekoizpen ahalmen handiena lortu ditu. 6 eta 4 hazbeteko konfigurazio malguak eskaintzen ditu produkzio-kostuak minimizatzeko produktuaren kalitate bikaina mantenduz. Horma beroko planetario CVD sistema labe bakarrean plaka anitzak hazten dira eta irteerako eraginkortasuna handia da. VeTek Semiconductor-ek osagarri multzo osoa eskaintzen du Aixtron G5 MOCVD sistemarako, Aixtron G5 MOCVD Susceptor-ek osagarri hauek ditu:

Bultzada Pieza, Anti-Biratu	Banaketa Eraztuna	Sabaia	Euskarria, Sabaia, Isolatua	Estalkia, Kanpokoa
Estalkia, Barrukoa	Estalkia Eraztuna	Diskoa	Pulldown Cover Diskoa	Pin
Pin-garbigailua	Disko planetarioa	Collector Inlet Ring Gap	Ihes Kolektorea Goiko	Pertsiana
Eraztun euskarria	Euskarri Hodia

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

CVD SiC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak:

CVD SiC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak
Jabetza	Balio Tipikoa
Kristal Egitura	FCC β fase polikristalinoa, nagusiki (111) orientatua
Dentsitatea	3,21 g/cm³
Gogortasuna	2500 Vickers gogortasuna (500 g karga)
Ale Tamaina	2~10μm
Garbitasun kimikoa	%99,99995
Bero Ahalmena	640 J·kg-1·K-1
Sublimazio-tenperatura	2700 ℃
Flexur Indarra	415 MPa RT 4 puntu
Gazteen Modulua	430 Gpa 4pt bihurgunea, 1300 ℃
Eroankortasun termikoa	300W·m-1·K-1
Hedapen termikoa (CTE)	4,5×10-6K-1