SiC estalitako UV LED susceptor sakona

SiC estalitako UV LED sakoneko susceptor MOCVD prozesurako diseinatuta dago UV LED geruza epitaxialaren hazkunde eraginkor eta egonkorra laguntzeko. VeTek Semiconductor Txinan SiC estalitako UV LED susceptor sakonen fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da. Esperientzia aberatsa dugu eta epe luzerako lankidetza-harremanak ezarri ditugu LED epitaxial fabrikatzaile askorekin. LED susceptor produktuen etxeko fabrikatzaile nagusiak gara. Urteetan egiaztatu ondoren, gure produktuaren iraupena nazioarteko fabrikatzaile nagusienaren parekoa da. Zure kontsultaren zain.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

SiC estalitako UV LED susceptor sakona da errodamenduaren osagai nagusiaMOCVD (metal organiko kimiko lurrun-deposizioa) ekipoak. Suszeptoreak zuzenean eragiten du UV LEDaren hazkunde epitaxial sakonaren uniformetasuna, lodiera kontrola eta materialaren kalitatea, batez ere aluminio-eduki handia duen aluminio-nitruroa (AlN) geruza epitaxialaren hazkundean, suszeptorearen diseinua eta errendimendua funtsezkoak dira.

SiC estalitako UV LED suszeptore sakona bereziki optimizatuta dago UV LED epitaxia sakonerako, eta zehatz-mehatz diseinatuta dago ingurumen-ezaugarri termiko, mekaniko eta kimikoetan oinarrituta, prozesuen eskakizun zorrotzak betetzeko.

VeTek Semiconductor-ek prozesatzeko teknologia aurreratua erabiltzen du suszeptorearen beroaren banaketa uniformea bermatzeko tenperatura-barrutiaren barruan, tenperatura-gradienteak eragindako geruza epitaxialaren hazkunde ez-uniformea saihestuz. Zehaztasun-prozesamenduak gainazaleko zimurtasuna kontrolatzen du, partikulen kutsadura gutxitzen du eta obleen gainazaleko kontaktuaren eroankortasun termikoaren eraginkortasuna hobetzen du.

VeTek Semiconductor-ek SGL grafitoa erabiltzen du material gisa, eta gainazalarekin tratatzen daCVD SiC estaldura, NH3, HCl eta tenperatura altuko atmosfera jasan ditzakeena denbora luzez. VeTek Semiconductor-en SiC estalitako UV LED suszeptore sakonak AlN/GaN oble epitaxialen hedapen termikoaren koefizientearekin bat egiten du, prozesuan zehar estres termikoak eragindako obleen deformazioa edo pitzadura murrizten du.

Garrantzitsuena, VeTek Semiconductor-en SiC estalitako UV LED suszeptore sakona ezin hobeto egokitzen da MOCVD ekipo nagusietara (Veco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, etab. barne). Zerbitzu pertsonalizatuak onartzen ditu obleen tamainarako (2 ~ 8 hazbeteko), obleen zirrikituen diseinurako, prozesuko tenperaturarako eta beste eskakizun batzuetarako.

Aplikazio-eszenatokiak:

● UV LED prestaketa sakona: 260 nm-tik beherako bandako gailuen prozesu epitaxialerako aplikagarria (UV-C desinfekzioa, esterilizazioa eta beste eremu batzuk).

● Nitruroa erdieroalearen epitaxia: Material erdieroaleen prestaketa epitaxialerako erabiltzen da, hala nola galio nitruroa (GaN) eta aluminio nitruroa (AlN).

● Ikerketa-mailako esperimentu epitaxialak: UV epitaxia sakona eta materialak garatzeko esperimentu berriak unibertsitate eta ikerketa erakundeetan.

Talde tekniko sendo baten laguntzarekin, VeTek Semiconductor-ek bezeroen beharren arabera zehaztapen eta funtzio bereziak dituzten suszeptoreak garatzeko gai da, ekoizpen prozesu espezifikoak onartzen ditu eta epe luzerako zerbitzuak eskaintzeko.

CVD SIC estaldura-filmaren SEM DATUAK:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

CVD SiC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak:

CVD SiC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak
Jabetza	Balio Tipikoa
Kristalezko Egitura	FCC β fase polikristalinoa, nagusiki (111) orientatua
SiC estaldura Dentsitatea	3,21 g/cm³
CVD SiC estaldura Gogortasuna	2500 Vickers gogortasuna (500 g karga)
alearen tamaina	2~10μm
Garbitasun kimikoa	%99,99995
Bero Ahalmena	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimazio-tenperatura	2700 ℃
Flexur Indarra	415 MPa RT 4 puntu
Gazteen Modulua	430 Gpa 4pt bihurgunea, 1300 ℃
Eroankortasun termikoa	300W·m^-1·K^-1
Hedapen termikoa (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VeTek SemiconductorSiC estalitako UV LED susceptor sakoneko produktuen dendak:

SiC coated deep UV LED susceptor Semiconductor process equipment CVD SiC Focus Ring Oxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: SiC estalitako UV LED susceptor sakona, Txina, fabrikatzailea, hornitzailea, fabrika, pertsonalizatua, erosi, aurreratua, iraunkorra, Txinan egina

Produktuen etiketa

Lotutako Kategoria