Tantalio-karburo porotsua: SiC kristalen hazkuntzarako materialen belaunaldi berri bat

SiC substratu eroaleen mailakako ekoizpen masiboarekin, baldintza handiagoak ezartzen dira prozesuaren egonkortasuna eta errepikakortasuna. Bereziki, labeko eremu termikoaren akatsen, doikuntza txikien edo noraeren kontrolak kristalean aldaketak edo akatsak areagotzea ekarriko du.

Azken fasean, "bizkorrago, lodiago eta luzeago hazteko" erronkari aurre egingo diogu. Teoria eta ingeniaritza hobetzeaz gain, eremu termikoko material aurreratuagoak behar dira euskarri gisa. Erabili material aurreratuak kristal aurreratuak hazteko.

Eremu termikoko grafitoa, grafito porotsua eta tantalio karburo hautsa bezalako materialen erabilera desegokiak arragoa eremuan karbono-inklusioak bezalako akatsak ekarriko ditu. Gainera, aplikazio batzuetan, grafito porotsuaren iragazkortasuna ez da nahikoa, eta zulo gehigarriak ireki behar dira iragazkortasuna handitzeko. Iragazkortasun handiko grafito porotsuak erronkak ditu, hala nola prozesatzea, hauts galtzea eta grabatzea.

Duela gutxi, VeTek Semiconductor-ek SiC kristal hazteko eremu termikoko materialen belaunaldi berri bat jarri zuen abian,tantalio karburo porotsua, lehen aldiz munduan.

Tantalio karburoak indar eta gogortasun handiak ditu, eta are zailagoa da porotsu bihurtzea. Are zailagoa da tantalio karburo porotsua egitea, porositate handiarekin eta purutasun handikoarekin. VeTek Semiconductor-ek porositate handiko tantalio karburo porotsu bat aurkeztu du,%75eko porositate maximoarekin, nazioarteko lider mailara iritsiz.

Horrez gain, gas faseko osagaien filtraziorako erabil daiteke, tokiko tenperatura-gradienteak doitzeko, materialaren fluxuaren norabidea gidatzeko, ihesak kontrolatzeko, etab.; VeTek Semiconductor-en tantalio karburo solido batekin (trinko) edo tantalio karburo estaldura batekin konbina daiteke, tokiko fluxuaren eroankortasun desberdineko osagaiak osatzeko; osagai batzuk berrerabili daitezke.

Parametro teknikoak

Porositatea ≤%75 Nazioarteko liderra

Forma: maluta, zilindrikoa Nazioarteko puntakoa

Porositate uniformea

VeTek erdieroale Porous Tantalum Carbide (TaC) produktuaren ezaugarri hauek ditu

●   Aplikazio anitzeko porositatea

TaC-ren egitura porotsuak funtzio anitzeko aukera ematen du, eta agertoki espezializatuetan erabiltzeko aukera ematen du:

Gas-difusioa: Erdieroaleen prozesuetan gas-fluxuaren kontrol zehatza errazten du.

Iragazkia: Errendimendu handiko partikulak bereiztea behar duten inguruneetarako aproposa.

Beroaren xahutze kontrolatua: tenperatura altuko sistemetan beroa modu eraginkorrean kudeatzen du, erregulazio termiko orokorra hobetuz.

●   Tenperatura Handiko Muturreko Erresistentzia

Gutxi gorabehera 3.880 °C-ko urtze-puntuarekin, Tantalo Karburoa oso tenperatura altuko aplikazioetan bikain da. Beroarekiko erresistentzia paregabe honek errendimendu koherentea bermatzen du material gehienek huts egiten duten baldintzetan.

●   Gogortasun eta iraunkortasun handia

Mohs-en gogortasun-eskalan 9-10 sailkatuta, diamantearen antzekoa, Porous TaC-k higadura mekanikoarekiko erresistentzia paregabea erakusten du, nahiz eta muturreko estresapean. Iraunkortasun horri esker, ingurune urratzaileen eraginpean dauden aplikazioetarako aproposa da.

●   Egonkortasun termiko paregabea

Tantalo Karburoak bere egitura-osotasuna eta errendimendua mantentzen ditu muturreko beroan. Bere egonkortasun termiko nabarmenak funtzionamendu fidagarria bermatzen du tenperatura altuko koherentzia behar duten industrietan, hala nola erdieroaleen fabrikazioan eta aeroespazialetan.

●   Eroankortasun termiko bikaina

Izaera porotsua izan arren, Porous TaC-k bero-transferentzia eraginkorra mantentzen du, beroa xahutze azkarra funtsezkoa den sistemetan erabiltzeko aukera ematen du. Ezaugarri honek materialaren aplikagarritasuna hobetzen du bero intentsiboko prozesuetan.

●   Dimentsio-egonkortasunerako hedapen termiko baxua

Hedapen termiko koefiziente baxuarekin, Tantalo Karburoak tenperaturaren gorabeherek eragindako dimentsio-aldaketei aurre egiten die. Propietate honek estres termikoa gutxitzen du, osagaien bizi-iraupena luzatuz eta sistema kritikoetan doitasuna mantenduz.

Erdieroaleen fabrikazioan, Tantalo Karburo Porotsuak (TaC) funtsezko eginkizun hauek betetzen ditu.

●  Tenperatura altuko prozesuetan, hala nola plasma bidezko grabaketa eta CVD, VeTek erdieroale Porous Tantalum Carbide sarritan erabiltzen da prozesatzeko ekipoetarako estaldura babes gisa. TaC Coating-en korrosioarekiko erresistentzia handiagatik eta tenperatura altuko egonkortasunagatik gertatzen da hori. Propietate hauek gas erreaktiboen edo muturreko tenperaturaren eraginpean dauden gainazalak modu eraginkorrean babesten dituela ziurtatzen dute, eta horrela tenperatura altuko prozesuen erreakzio normala bermatzen dute.

●  Difusio-prozesuetan, tantalo-karburo porotsuak difusio-hesi eraginkor gisa balio dezake tenperatura altuko prozesuetan materialak nahastea saihesteko. Ezaugarri hau maiz erabiltzen da dopanteen hedapena kontrolatzeko, hala nola ioien inplantazioa eta oble erdieroaleen purutasunaren kontrola bezalako prozesuetan.

●  VeTek erdieroaleen Porous Tantalum Carbide-ren egitura porotsua oso egokia da gas-fluxuaren kontrol edo iragazketa zehatza behar duten erdieroaleen prozesatzeko inguruneetarako. Prozesu honetan, TaC porosoak gasaren iragazketa eta banaketaren papera betetzen du batez ere. Bere inertetasun kimikoak iragazketa-prozesuan kutsatzailerik ez sartzea bermatzen du. Horrek modu eraginkorrean bermatzen du prozesatutako produktuaren garbitasuna.

VeTek Semiconductor-i buruz

Txinako Tantalo Karburo Porotsuen Fabrikatzaile, Hornitzaile, Fabrikatzaile profesional gisa, gure fabrika dugu. Zure eskualdeko behar zehatzei erantzuteko zerbitzu pertsonalizatuak behar dituzun edo Txinan egindako Tantalo Karburo Poroso aurreratu eta iraunkorra erosi nahi baduzu, mezu bat utz diezagukezu.

Kontsultarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzuTantalo-karburo porotsua、Tantalo Karburoa Estalitako Grafito Porotsuaeta besteTantalio Karburo Estalitako osagaiak, mesedez, ez izan zalantzarik gurekin harremanetan jartzeko.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏Posta elektronikoa: anny@veteksemi.com