Zer da tantalio karburoaren estaldura?

Tantalo karburoa (TaC) zeramikazko materialak 3880 ℃ arteko urtze-puntua du eta urtze-puntu altua eta egonkortasun kimiko ona dituen konposatua da. Tenperatura handiko inguruneetan errendimendu egonkorra mantendu dezake. Horrez gain, tenperatura altuko erresistentzia, korrosio kimikoarekiko erresistentzia eta karbonozko materialekin bateragarritasun kimiko eta mekaniko ona ere baditu, grafitozko substratu babesteko material aproposa da. 

Tantalio karburoaren estaldurak grafitoaren osagaiak eraginkortasunez babes ditzake amoniako beroaren, hidrogenoaren, silizio-lurrunaren eta metal urtuaren eraginetatik erabilera-ingurune gogorretan, grafitoaren osagaien bizitza nabarmen luzatuz eta grafitoaren ezpurutasunen migrazioa kenduz, kalitatea bermatuz.epitaxialaetakristalen hazkundea.

1. Irudia Tantalo Karburo Estalitako Osagai Ohikoak

Lurrun-deposizio kimikoa (CVD) TaC estaldurak grafitozko gainazaletan ekoizteko metodorik helduena eta egokiena da.

TaCl5 eta propilenoa karbono eta tantalio iturri gisa, hurrenez hurren, eta argon gas eramaile gisa erabiliz, tenperatura altuko lurrundutako TaCl5 lurruna erreakzio-ganberara sartzen da. Xede-tenperaturan eta presioan, aitzindari-materialaren lurruna grafitoaren gainazalean xurgatzen da, eta erreakzio kimiko konplexu batzuk jasaten ditu, hala nola karbono eta tantalio iturrien deskonposizioa eta konbinazioa, baita gainazaleko erreakzio batzuk ere, hala nola difusioa eta desortzioa. aitzindariaren azpiproduktuak. Azkenik, grafitoaren gainazalean babes-geruza trinko bat sortzen da, grafitoa muturreko ingurune-baldintzetan egonkortasunetik babesten duena eta grafito-materialen aplikazio eszenatokiak nabarmen zabaltzen ditu.

2. irudia.Lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesu-printzipioa

VeTek Semiconductorbatez ere tantalio karburoko produktuak eskaintzen ditu: TaC gida-eraztun, TaC estalitako hiru petalo-eraztun, TaC estaldura arragoa, TaC estaldura grafito porotsua oso erabilia da SiC kristalen hazkuntza-prozesua; Grafito porotsua TaC estaliarekin, TaC estalitako gida-eraztunarekin, TaC estalitako grafito obleen garraiolaria, TaC estaldura susceptors, planetario susceptor, TaC estalitako satelite susceptor, Eta tantalio karburo estaldura produktu hauek oso erabiliak dira.SiC epitaxia prozesuaetaSiC kristal bakarreko hazkuntza prozesua.

3. irudia.VeTek Semiconductor-en tantalio karburoaren estaldura produktu ezagunenak