Garbitasun handiko grafitoaren suszeptore birakariak paper garrantzitsua betetzen du galio nitruroaren hazkuntza epitaxialean (MOCVD prozesua). VeTek Semiconductor Txinako grafito birakarien susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile liderra da. Garbitasun handiko grafito-produktu asko garatu ditugu purutasun handiko grafito-materialetan oinarrituta, erdieroaleen industriaren eskakizunak guztiz betetzen dituztenak. VeTek Semiconductor-ek zure bikotekide izatea espero du Rotating Graphite susceptor-en.
Garbitasun handiko grafitozko susceptor birakariak materialak prozesatzeko ekipoetan erabiltzen dira tenperatura altuko eta huts handiko inguruneetan. Galio nitruroaren hazkuntza epitaxialean (MOCVD prozesua), substratuaren errotazioan euskarri papera betetzen dute. VeTekSemi-ren grafito suszeptore birakariak abantaila hauek ditu:
● Garbitasun handia: Garbitasun handiko grafitoaren suszeptore birakarietan ezpurutasun-edukia 5 ppm-tik beherakoa da. Garbitasun-maila honek ezpurutasunak saihestu ditzake tenperatura altuetan, deposizio-prozesuaren garbitasuna bermatzeko. Beraz, ez da estaldurarik behar lan baldintzak betetzeko.
Garbitasun handiko grafitoa
● Propietate termiko bikainak: Garbitasun handiko grafitoak eroankortasun termiko bikaina du, eta bere eroankortasun termikoa beste material batzuk baino askoz handiagoa da. Hedapen termikoaren koefizientea txikia da eta tenperatura-aldaketak jasaten dituzunean errendimendu egonkorra mantendu dezake.
● Propietate mekaniko onak: Garbitasun handiko grafitoak higadura-erresistentzia eta gogortasun ona ditu, CVD prozesuko baldintza konplexuak bete ditzakeena.
● Eroankortasun bikaina: Eroankortasuna mineral ez-metaliko orokorrenena baino ehun aldiz handiagoa da.
● Egonkortasun kimikoa: Azido, alkali eta disolbatzaile organikoen korrosioari aurre egin diezaioke
Gainera, Txinan purutasun handiko grafito birakarien fabrikatzaile eta hornitzaile nagusi gisa, VeTek Semiconductor-ek kalitate handikoa ere hornitzen du.SiC estalitako grafito susceptor MOCVDrako, SiC estalitako Barril Susceptor, TaC estalitako grafito hargailuaetaMOCVD SiC estaldura suszeptorea.VeTek Semiconductor-ek erdieroaleen industriarako teknologia eta produktuen irtenbide aurreratuak eskaintzeko konpromisoa hartu du, eta zerbitzu pertsonalizatuak ere onartzen ditu. Zinez espero dugu zure epe luzerako bazkide bihurtzea Txinan.
VeTek SemiconductorGrafitozko susceptor birakari produktuen dendak: